圖1 阻抗測量方法
圖2是自動平衡電橋法的原理框圖。通過精確測量加載到被測件DUT的電壓和電流，從而精確測量出DUT阻抗值。從圖2中可以看出，通過DUT的電流等于通過電阻Rr的電流，而通過Rr的電流可以通過測量V2計(jì)算出來。
通常，在低頻（<100KHz）的LCR表里，使用一個(gè)簡單的運(yùn)算放大器作為I-V轉(zhuǎn)換器，缺點(diǎn)是運(yùn)算放大器的頻響在高頻段較差。對于頻率高于 1MHz的LCR表或阻抗分析儀，I-V轉(zhuǎn)換器由精密的零位檢測器，相位檢測器和積分器（環(huán)路濾波）組成。這種儀器可以測量高達(dá)110MHz的頻率范圍。
圖2 自動平衡電橋法原理框圖
圖3是RF I-V法原理框圖。RF I-V法是I-V技術(shù)在高頻范圍的擴(kuò)展，可以緊密測量高達(dá)3GHz頻率范圍的阻抗值。RF I-V電路和路徑必須仔細(xì)設(shè)計(jì)，以確保能夠以50ohm阻抗與被測件DUT相連。如果連接路徑的阻抗不是50ohm，不想要的反射將發(fā)生，將導(dǎo)致電流和電壓的測量誤差增大。RF I-V法細(xì)分為高阻和低阻兩種測量模式。實(shí)際上，測量儀器保持不變，只是改變測試頭，達(dá)到兩種測量模式的要求。高阻測量模式，測試電流很小，為了正確的探測電流，電流探頭要盡量靠近DUT；低阻測量模式，為了靈敏的得到電壓值，電壓探頭要盡量靠近DUT。
圖3 RF I-V法原理框圖
網(wǎng)絡(luò)反射法即是網(wǎng)絡(luò)分析儀方法，在此不著介紹。
各種方法的優(yōu)缺點(diǎn)如下。
1、自動平衡電橋法優(yōu)缺點(diǎn)：
1）最準(zhǔn)確，基本測試精度0.05%；
2）最寬的阻抗測量范圍：C,L,D,Q,R,X,G,B,Z,Y,O...；
3）最寬的電學(xué)測量條件范圍；
4）簡單易用；
5）低頻：f<110MHz。
2、RF I-V法優(yōu)缺點(diǎn)：
1）寬的頻率范圍：1MHz
3）寬的阻抗測量范圍：100m～50K@10%精度
4）>100MHz的最準(zhǔn)確測試方法；
5）接地器件測試。
3、網(wǎng)絡(luò)分析儀法優(yōu)缺點(diǎn)：
1）高頻
適用：f>100KHz
最佳：f>3GHz
2）適中的精度；
3）有限的阻抗測試范圍。
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