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[導(dǎo)讀]參與歐洲IMPROVE研究計(jì)劃的35個(gè)成員成功提升了歐洲半導(dǎo)體業(yè)的全球競(jìng)爭(zhēng)力。在2009年時(shí),由數(shù)家全球知名的歐洲半導(dǎo)體公司加入了由英飛凌(Infineon)負(fù)責(zé)技術(shù)管理的專案計(jì)劃,他們的目標(biāo)是開(kāi)發(fā)提升歐洲半導(dǎo)體制造效率的新

參與歐洲IMPROVE研究計(jì)劃的35個(gè)成員成功提升了歐洲半導(dǎo)體業(yè)的全球競(jìng)爭(zhēng)力。在2009年時(shí),由數(shù)家全球知名的歐洲半導(dǎo)體公司加入了由英飛凌(Infineon)負(fù)責(zé)技術(shù)管理的專案計(jì)劃,他們的目標(biāo)是開(kāi)發(fā)提升歐洲半導(dǎo)體制造效率的新方法,同時(shí)降低成本并縮短制程時(shí)間。

IMPROVE計(jì)劃是由德國(guó)教育研究部(BMBF)資助,技術(shù)成員包括軟體企業(yè)、在歐洲擁有生產(chǎn)據(jù)點(diǎn)的半導(dǎo)體公司、來(lái)自?shī)W地利、法國(guó)、德國(guó)、愛(ài)爾蘭、義大利和葡萄牙等國(guó)的研究單位和學(xué)術(shù)機(jī)構(gòu)等。IMPROVE是「ImplementingManufacturingsciencesolutionstoincreaseequipmentproductivityandfabperformance(實(shí)施制造科技的解決方案以增進(jìn)設(shè)備產(chǎn)能與晶圓廠效能)」一詞的縮寫。

英飛凌表示,IMPROVE計(jì)劃成員已透過(guò)這項(xiàng)研究工作,將晶片生產(chǎn)失敗率降低12%,此外也成功縮短了半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)時(shí)間,復(fù)雜的晶片設(shè)計(jì)目前約需要12至16周,但不久后將可能縮短半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)時(shí)間3%以上。IMPROVE成員開(kāi)發(fā)出全新且智慧化的分析方法和軟體工具,結(jié)合創(chuàng)新的資料評(píng)估技巧,進(jìn)而能夠達(dá)到此一成果;為了進(jìn)一步掌控制程變動(dòng),研究夥伴從整個(gè)生產(chǎn)線進(jìn)行探討。其中一個(gè)主要挑戰(zhàn),就是如何將新的方法和軟體元件整合到半導(dǎo)體制造商現(xiàn)有的產(chǎn)品資訊和控制系統(tǒng)中,從生產(chǎn)的前導(dǎo)應(yīng)用中確認(rèn)研究的成果。

今日制造一個(gè)復(fù)雜晶片需要平均550個(gè)個(gè)別制造步驟,通常的制造批次大約為50到100片晶圓,每批完成后,制造廠必須為下次的量產(chǎn)產(chǎn)品和生產(chǎn)制程重新設(shè)定生產(chǎn)工具,因此必須精密監(jiān)控生產(chǎn)線及其狀況,同時(shí)預(yù)測(cè)維護(hù)要素,才能保持競(jìng)爭(zhēng)力。此外,IMPROVE在節(jié)省時(shí)間這方面也有關(guān)鍵的貢獻(xiàn)。

英飛凌IMPROVE專案負(fù)責(zé)人CristinaDeLuca表示:「IMPROVE研究計(jì)劃有其迫切性,尤其是面對(duì)晶片功能不斷增加,生產(chǎn)方法持續(xù)復(fù)雜化,制程步驟變多,且生產(chǎn)時(shí)間越來(lái)越長(zhǎng)的情況下。藉由本次半導(dǎo)體業(yè)與學(xué)術(shù)界、工廠和制程控制,以及感測(cè)器和軟體開(kāi)發(fā)產(chǎn)業(yè)的聯(lián)合研究工作,開(kāi)發(fā)出許多最現(xiàn)代化的技術(shù),幫助半導(dǎo)體生產(chǎn)往前邁進(jìn)了一大步?!?BR>
IMPROVE計(jì)劃的圓滿成功已獲得認(rèn)可:該研究計(jì)劃已獲選進(jìn)入「IndustrialTechnologies2012」大獎(jiǎng)前十名候選名單(http://industrialtechnologies2012.eu),入選原因之一在于,該計(jì)劃所創(chuàng)造的新產(chǎn)品和方法是以提升歐洲競(jìng)爭(zhēng)力為目標(biāo),具有與財(cái)務(wù)方面的相關(guān)性。

IMPROVE計(jì)劃總預(yù)算約3770萬(wàn)歐元,其中半數(shù)來(lái)自業(yè)界和研究單位的贊助,另一半則由歐洲奈米科技方案諮詢委員會(huì)(ENIACJointUndertaking)贊助,作為其「SP4能源暨環(huán)境奈米科技」計(jì)劃的一部分,以及來(lái)自參與國(guó)家的國(guó)家基金所贊助。

BMBF則從德國(guó)聯(lián)邦政府的高科技策略和資助計(jì)劃(Informations-undKommunikationstechnologie2020,IKT2020)中提撥330萬(wàn)歐元資助該研究計(jì)劃。英飛凌負(fù)責(zé)德國(guó)計(jì)劃成員在2011年11月之前的協(xié)調(diào)工作,之后則由佛羅恩霍夫整合式系統(tǒng)和裝置研究院(FraunhoferInstituteforIntegratedSystemsandDeviceTechnology)接手。

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