[導(dǎo)讀]SPTS 科技為中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 (SIMIT) 裝置其公司在中國(guó)的第一套氫氟酸蒸汽釋放蝕刻系統(tǒng)
干法蝕刻技術(shù)將應(yīng)用于制造微機(jī)電系統(tǒng)加速計(jì)
英國(guó)紐波特2012年3月21日電 /美通社亞洲/ -- SEMICON
SPTS 科技為中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 (SIMIT) 裝置其公司在中國(guó)的第一套氫氟酸蒸汽釋放蝕刻系統(tǒng)
干法蝕刻技術(shù)將應(yīng)用于制造微機(jī)電系統(tǒng)加速計(jì)
英國(guó)紐波特2012年3月21日電 /美通社亞洲/ -- SEMICON China 2012 -- SPTS 科技是全球半導(dǎo)體行業(yè)和相關(guān)市場(chǎng)的高級(jí)晶圓加工解決方案供應(yīng)商。公司今天宣布裝置其公司在中國(guó)的第一套氫氟酸蒸汽 (VHF) 蝕刻系統(tǒng)。中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 (SIMIT) 將利用此 Primaxx? Monarch 3 系統(tǒng)于微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 干法釋放蝕刻應(yīng)用。中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所是隸屬于中國(guó)科學(xué)院 (CAS) 的綜合性研究院,從事基礎(chǔ)和應(yīng)用研究。中國(guó)上海市中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所的研究室將接受此系統(tǒng)。
氫氟酸蒸汽是微機(jī)電系統(tǒng)生產(chǎn)過(guò)程中一種用于去除犧牲氧化層的干蝕刻劑法。由于傳統(tǒng)的濕法蝕刻會(huì)造成粘連,采用氫氟酸蒸汽蝕刻既防止裸露的鋁氧被化,又能滲透結(jié)構(gòu)較小的部件。在傳統(tǒng)的濕蝕刻制程當(dāng)中,微結(jié)構(gòu)和襯層被拉扯的過(guò)程導(dǎo)致液體表面張力的腐蝕劑干燥現(xiàn)象,造成粘連,并損壞設(shè)備結(jié)構(gòu)。SPTS 專(zhuān)屬的氫氟酸蒸汽方案避免了這些問(wèn)題,從而提高器件良率。
SPTS 在極寬的工藝參數(shù)中所展示的穩(wěn)定性和可重復(fù)性顯示出對(duì)其工藝的專(zhuān)業(yè)技術(shù)。我們也樂(lè)于依賴(lài)經(jīng)驗(yàn)豐富,能提供及時(shí)的本地客戶(hù)支持的合作廠商。
中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所的楊恒教授說(shuō):“在微機(jī)電加速計(jì)制造項(xiàng)目中,我們選擇 SPTS 的氫氟酸釋放系統(tǒng),以干法釋放步驟避免粘連,解決了傳統(tǒng)的濕法氫氟酸蝕刻中普遍存在的問(wèn)題。SPTS 在極寬的工藝參數(shù)中所展示的穩(wěn)定性和可重復(fù)性顯示出對(duì)其工藝的專(zhuān)業(yè)技術(shù)。我們也樂(lè)于依賴(lài)經(jīng)驗(yàn)豐富,能提供及時(shí)的本地客戶(hù)支持的合作廠商?!?br>
SPTS Primaxx 產(chǎn)品部的高級(jí)總監(jiān)兼總經(jīng)理 Paul Hammond 說(shuō):“我們?yōu)榇水a(chǎn)品線(xiàn)建立在中國(guó)的第一個(gè)客戶(hù)這個(gè)里程碑感到驕傲。我們的專(zhuān)利干法蝕刻技術(shù)用于滿(mǎn)足各種客戶(hù)需求 -- 從研發(fā)或試生產(chǎn)到全面微機(jī)電系統(tǒng)生產(chǎn),都為我們的全球客戶(hù)(尤其是像中國(guó)這么發(fā)展迅速的市場(chǎng))做出提高產(chǎn)量的貢獻(xiàn)?!?br>
Primaxx Monarch 3 系統(tǒng)具有一個(gè) 3 晶圓加工腔室,可以提高產(chǎn)量,同時(shí)還可以選擇晶圓加載選項(xiàng)。 可重復(fù)性的高產(chǎn)量晶圓制造工藝就意味著正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng),系統(tǒng)擁有成本低。
關(guān)于SPTS Primaxx? 釋放蝕刻法
SPTS 為全球降壓干法蝕刻系統(tǒng)領(lǐng)先供應(yīng)商。此氧化物蝕刻步驟是用于微機(jī)電生產(chǎn)中關(guān)鍵的工藝。SPTS 采用的專(zhuān)利制程可以更好地控制反應(yīng),提高蝕刻均勻性,為結(jié)合無(wú)水氫氟酸氣體和降壓酒精蒸氣提供了一個(gè)廣泛的,穩(wěn)定的工藝窗口,不但可以解決不同氧化成分和厚度,也同時(shí)保持較高的選擇性在微機(jī)電設(shè)計(jì)中常見(jiàn)的材料(如鋁)。Primaxx 的干法釋放工藝還消除粘連,減少傳統(tǒng)的濕法技術(shù)中常見(jiàn)的量殺的現(xiàn)象。
關(guān)于 SPTS 科技
SPTS 科技(Bridgepoint 旗下股份公司)是一家致力于設(shè)計(jì)、制造、銷(xiāo)售和支持蝕刻、PVD、CVD、傳熱晶圓處理系統(tǒng)的公司。其科技的終端應(yīng)付市場(chǎng)包括微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS)、高級(jí)封裝、LED、砷化鎵 (GaAs) 高速射頻器件和功率管理器件。該公司主要生產(chǎn)地包括英國(guó)紐波特,美國(guó)圣荷西和賓夕法尼亞州阿倫敦鎮(zhèn),生意遍布全球歐、美、亞、三大洲內(nèi)十九個(gè)國(guó)家。欲了解有關(guān) SPTS 科技的更多信息,請(qǐng)?jiān)L問(wèn)
欲知詳情,請(qǐng)下載word文檔
下載文檔
本站聲明: 本文章由作者或相關(guān)機(jī)構(gòu)授權(quán)發(fā)布,目的在于傳遞更多信息,并不代表本站贊同其觀點(diǎn),本站亦不保證或承諾內(nèi)容真實(shí)性等。需要轉(zhuǎn)載請(qǐng)聯(lián)系該專(zhuān)欄作者,如若文章內(nèi)容侵犯您的權(quán)益,請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系本站刪除。
9月2日消息,不造車(chē)的華為或?qū)⒋呱龈蟮莫?dú)角獸公司,隨著阿維塔和賽力斯的入局,華為引望愈發(fā)顯得引人矚目。
關(guān)鍵字:
阿維塔
塞力斯
華為
加利福尼亞州圣克拉拉縣2024年8月30日 /美通社/ -- 數(shù)字化轉(zhuǎn)型技術(shù)解決方案公司Trianz今天宣布,該公司與Amazon Web Services (AWS)簽訂了...
關(guān)鍵字:
AWS
AN
BSP
數(shù)字化
倫敦2024年8月29日 /美通社/ -- 英國(guó)汽車(chē)技術(shù)公司SODA.Auto推出其旗艦產(chǎn)品SODA V,這是全球首款涵蓋汽車(chē)工程師從創(chuàng)意到認(rèn)證的所有需求的工具,可用于創(chuàng)建軟件定義汽車(chē)。 SODA V工具的開(kāi)發(fā)耗時(shí)1.5...
關(guān)鍵字:
汽車(chē)
人工智能
智能驅(qū)動(dòng)
BSP
北京2024年8月28日 /美通社/ -- 越來(lái)越多用戶(hù)希望企業(yè)業(yè)務(wù)能7×24不間斷運(yùn)行,同時(shí)企業(yè)卻面臨越來(lái)越多業(yè)務(wù)中斷的風(fēng)險(xiǎn),如企業(yè)系統(tǒng)復(fù)雜性的增加,頻繁的功能更新和發(fā)布等。如何確保業(yè)務(wù)連續(xù)性,提升韌性,成...
關(guān)鍵字:
亞馬遜
解密
控制平面
BSP
8月30日消息,據(jù)媒體報(bào)道,騰訊和網(wǎng)易近期正在縮減他們對(duì)日本游戲市場(chǎng)的投資。
關(guān)鍵字:
騰訊
編碼器
CPU
8月28日消息,今天上午,2024中國(guó)國(guó)際大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)開(kāi)幕式在貴陽(yáng)舉行,華為董事、質(zhì)量流程IT總裁陶景文發(fā)表了演講。
關(guān)鍵字:
華為
12nm
EDA
半導(dǎo)體
8月28日消息,在2024中國(guó)國(guó)際大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)上,華為常務(wù)董事、華為云CEO張平安發(fā)表演講稱(chēng),數(shù)字世界的話(huà)語(yǔ)權(quán)最終是由生態(tài)的繁榮決定的。
關(guān)鍵字:
華為
12nm
手機(jī)
衛(wèi)星通信
要點(diǎn): 有效應(yīng)對(duì)環(huán)境變化,經(jīng)營(yíng)業(yè)績(jī)穩(wěn)中有升 落實(shí)提質(zhì)增效舉措,毛利潤(rùn)率延續(xù)升勢(shì) 戰(zhàn)略布局成效顯著,戰(zhàn)新業(yè)務(wù)引領(lǐng)增長(zhǎng) 以科技創(chuàng)新為引領(lǐng),提升企業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力 堅(jiān)持高質(zhì)量發(fā)展策略,塑強(qiáng)核心競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)...
關(guān)鍵字:
通信
BSP
電信運(yùn)營(yíng)商
數(shù)字經(jīng)濟(jì)
北京2024年8月27日 /美通社/ -- 8月21日,由中央廣播電視總臺(tái)與中國(guó)電影電視技術(shù)學(xué)會(huì)聯(lián)合牽頭組建的NVI技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟在BIRTV2024超高清全產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展研討會(huì)上宣布正式成立。 活動(dòng)現(xiàn)場(chǎng) NVI技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)...
關(guān)鍵字:
VI
傳輸協(xié)議
音頻
BSP
北京2024年8月27日 /美通社/ -- 在8月23日舉辦的2024年長(zhǎng)三角生態(tài)綠色一體化發(fā)展示范區(qū)聯(lián)合招商會(huì)上,軟通動(dòng)力信息技術(shù)(集團(tuán))股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)"軟通動(dòng)力")與長(zhǎng)三角投資(上海)有限...
關(guān)鍵字:
BSP
信息技術(shù)
山海路引?嵐悅新程 三亞2024年8月27日 /美通社/ --?近日,海南地區(qū)六家凱悅系酒店與中國(guó)高端新能源車(chē)企嵐圖汽車(chē)(VOYAH)正式達(dá)成戰(zhàn)略合作協(xié)議。這一合作標(biāo)志著兩大品牌在高端出行體驗(yàn)和環(huán)保理念上的深度融合,將...
關(guān)鍵字:
新能源
BSP
PLAYER
ASIA
上海2024年8月28日 /美通社/ -- 8月26日至8月28日,AHN LAN安嵐與股神巴菲特的孫女妮可?巴菲特共同開(kāi)啟了一場(chǎng)自然和藝術(shù)的療愈之旅。 妮可·巴菲特在療愈之旅活動(dòng)現(xiàn)場(chǎng)合影 ...
關(guān)鍵字:
MIDDOT
BSP
LAN
SPI
8月29日消息,近日,華為董事、質(zhì)量流程IT總裁陶景文在中國(guó)國(guó)際大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)開(kāi)幕式上表示,中國(guó)科技企業(yè)不應(yīng)怕美國(guó)對(duì)其封鎖。
關(guān)鍵字:
華為
12nm
EDA
半導(dǎo)體
上海2024年8月26日 /美通社/ -- 近日,全球領(lǐng)先的消費(fèi)者研究與零售監(jiān)測(cè)公司尼爾森IQ(NielsenIQ)迎來(lái)進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng)四十周年的重要里程碑,正式翻開(kāi)在華發(fā)展新篇章。自改革開(kāi)放以來(lái),中國(guó)市場(chǎng)不斷展現(xiàn)出前所未有...
關(guān)鍵字:
BSP
NI
SE
TRACE
上海2024年8月26日 /美通社/ -- 第二十二屆跨盈年度B2B營(yíng)銷(xiāo)高管峰會(huì)(CC2025)將于2025年1月15-17日在上海舉辦,本次峰會(huì)早鳥(niǎo)票注冊(cè)通道開(kāi)啟,截止時(shí)間10月11日。 了解更多會(huì)議信息:cc.co...
關(guān)鍵字:
BSP
COM
AI
INDEX
上海2024年8月26日 /美通社/ -- 今日,高端全合成潤(rùn)滑油品牌美孚1號(hào)攜手品牌體驗(yàn)官周冠宇,開(kāi)啟全新旅程,助力廣大車(chē)主通過(guò)駕駛?cè)ヌ剿鞲鼜V闊的世界。在全新發(fā)布的品牌視頻中,周冠宇及不同背景的消費(fèi)者表達(dá)了對(duì)駕駛的熱愛(ài)...
關(guān)鍵字:
BSP
汽車(chē)制造
此次發(fā)布標(biāo)志著Cision首次為亞太市場(chǎng)量身定制全方位的媒體監(jiān)測(cè)服務(wù)。 芝加哥2024年8月27日 /美通社/ -- 消費(fèi)者和媒體情報(bào)、互動(dòng)及傳播解決方案的全球領(lǐng)導(dǎo)者Cis...
關(guān)鍵字:
CIS
IO
SI
BSP
上海2024年8月27日 /美通社/ -- 近來(lái),具有強(qiáng)大學(xué)習(xí)、理解和多模態(tài)處理能力的大模型迅猛發(fā)展,正在給人類(lèi)的生產(chǎn)、生活帶來(lái)革命性的變化。在這一變革浪潮中,物聯(lián)網(wǎng)成為了大模型技術(shù)發(fā)揮作用的重要陣地。 作為全球領(lǐng)先的...
關(guān)鍵字:
模型
移遠(yuǎn)通信
BSP
高通
北京2024年8月27日 /美通社/ -- 高途教育科技公司(紐約證券交易所股票代碼:GOTU)("高途"或"公司"),一家技術(shù)驅(qū)動(dòng)的在線(xiàn)直播大班培訓(xùn)機(jī)構(gòu),今日發(fā)布截至2024年6月30日第二季度未經(jīng)審計(jì)財(cái)務(wù)報(bào)告。 2...
關(guān)鍵字:
BSP
電話(huà)會(huì)議
COM
TE
8月26日消息,華為公司最近正式啟動(dòng)了“華為AI百校計(jì)劃”,向國(guó)內(nèi)高校提供基于昇騰云服務(wù)的AI計(jì)算資源。
關(guān)鍵字:
華為
12nm
EDA
半導(dǎo)體