當(dāng)前位置:首頁(yè) > 模擬 > 模擬
[導(dǎo)讀]奧地利菲拉赫和德國(guó)錫根--(BUSINESS WIRE)--(美國(guó)商業(yè)資訊)--薄晶圓處理系統(tǒng)領(lǐng)域的兩家專業(yè)級(jí)廠商mechatronic systemtechnik和ProTec Carrier Systems (PCS)正通過T-ESC?-技術(shù)加強(qiáng)雙方在薄基片處理領(lǐng)域的合作 T-E

奧地利菲拉赫和德國(guó)錫根--(BUSINESS WIRE)--(美國(guó)商業(yè)資訊)--薄晶圓處理系統(tǒng)領(lǐng)域的兩家專業(yè)級(jí)廠商mechatronic systemtechnik和ProTec Carrier Systems (PCS)正通過T-ESC?-技術(shù)加強(qiáng)雙方在薄基片處理領(lǐng)域的合作

T-ESC?-技術(shù)的基礎(chǔ)是使用靜電場(chǎng)將電動(dòng)力應(yīng)用于傳導(dǎo)性更低的材料。PCS開發(fā)的移動(dòng)靜電載體(T-ESC?)能夠建立這樣一個(gè)靜電場(chǎng),并通過運(yùn)用庫(kù)侖力長(zhǎng)時(shí)間(長(zhǎng)達(dá)50小時(shí))鎖定極薄的基片(< 50μm)。工序結(jié)束時(shí)僅需很短的時(shí)間解除,并且絕對(duì)不會(huì)在基片上留下痕跡。避免了因使用膠帶或通過鍵合——它們會(huì)涉及額外的清潔工序——而導(dǎo)致有機(jī)殘余物。通過運(yùn)用T-ESC?-技術(shù),還可保證在單獨(dú)的加工階段,尤其在真空與高溫條件下,安全地為半導(dǎo)體、光電以及顯示器行業(yè)處理與運(yùn)輸最薄的基片。

3-D整合等可以利用薄基片優(yōu)勢(shì)的應(yīng)用即將進(jìn)行批量生產(chǎn)。因此,半導(dǎo)體制造商需要全自動(dòng)系統(tǒng)來安全運(yùn)輸與加工薄晶圓。為此,PCS和mechatronic systemtechnik已經(jīng)開發(fā)了全自動(dòng)的夾具/去夾具系統(tǒng)ACU 3000。該系統(tǒng)將依照“SEAL”計(jì)劃在位于德國(guó)蘭茨胡特的Lfoundry工廠進(jìn)行全面測(cè)試與演示。“SEAL”計(jì)劃由歐洲共同體提供資金。

ACU 3000系統(tǒng)每小時(shí)能夠裝配120個(gè)載體包,例如:通過靜電吸持力在載體上固定或移動(dòng)晶圓。此外,ACU 3000的靜電充電/放電裝置也以單個(gè)模塊推出。它以標(biāo)準(zhǔn)接口為基礎(chǔ),因此還能被整合進(jìn)其他系統(tǒng),如工序工具。這樣,現(xiàn)有系統(tǒng)就可用于加工薄基片,無(wú)需更改任何系統(tǒng)或相關(guān)工序。

PCS GmbH首席執(zhí)行官Roland Raschke解釋說:“與mechatronic systemtechnik的合作是一種理想的互利關(guān)系,它為雙方公司都創(chuàng)造了至關(guān)重要的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)?!眒echatronic systemtechnik gmbh首席執(zhí)行官Walter Schober補(bǔ)充說:“T-ESC?-技術(shù)的一大優(yōu)勢(shì)在于客戶只需使用他們現(xiàn)有的設(shè)備就能加工薄基片,而無(wú)需進(jìn)行大量投資?!?br>
關(guān)于mechatronic systemtechnik gmbh

mechatronic systemtechnik是一家快速發(fā)展的高科技公司,總部位于奧地利菲拉赫。自2004年以來,該公司一直為半導(dǎo)體行業(yè)的薄晶圓或翹曲晶圓處理開發(fā)并生產(chǎn)專用機(jī)械,如TAIKO、MEMS、薄膜框架、eWLB等。Mechatronic的全自動(dòng)處理系統(tǒng)可以免接觸運(yùn)輸晶圓。為此,已經(jīng)開發(fā)了多種可根據(jù)客戶需求單獨(dú)應(yīng)用的程序與設(shè)備,如伯努利(Bernoulli)真空技術(shù)。Mechatronic是全球唯一一家能夠在芯片面和晶圓的背面處理薄晶圓與超薄晶圓的公司。

關(guān)于ProTec Carrier Systems GmbH (PCS)

PCS是一家極具創(chuàng)新力的年輕企業(yè),針對(duì)薄基片與超薄基片的運(yùn)輸與加工開發(fā)、生產(chǎn)并銷售系統(tǒng)和元器件。這些應(yīng)用以在全球獲得專利的T-ESC?-技術(shù)的形式存在,專為半導(dǎo)體、太陽(yáng)能和顯示器行業(yè)設(shè)計(jì)。因此,重點(diǎn)主要放在傳統(tǒng)的臨時(shí)性鍵合系統(tǒng)無(wú)法或不能恰當(dāng)運(yùn)行的應(yīng)用方面。憑借T-ESC?-技術(shù),一些用于薄基片的工序(如背面氣體冷卻)首次變?yōu)榭赡堋T摴境闪⒂?008年,總部位于德國(guó)錫根。



本站聲明: 本文章由作者或相關(guān)機(jī)構(gòu)授權(quán)發(fā)布,目的在于傳遞更多信息,并不代表本站贊同其觀點(diǎn),本站亦不保證或承諾內(nèi)容真實(shí)性等。需要轉(zhuǎn)載請(qǐng)聯(lián)系該專欄作者,如若文章內(nèi)容侵犯您的權(quán)益,請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系本站刪除。
換一批
延伸閱讀

9月2日消息,不造車的華為或?qū)⒋呱龈蟮莫?dú)角獸公司,隨著阿維塔和賽力斯的入局,華為引望愈發(fā)顯得引人矚目。

關(guān)鍵字: 阿維塔 塞力斯 華為

倫敦2024年8月29日 /美通社/ -- 英國(guó)汽車技術(shù)公司SODA.Auto推出其旗艦產(chǎn)品SODA V,這是全球首款涵蓋汽車工程師從創(chuàng)意到認(rèn)證的所有需求的工具,可用于創(chuàng)建軟件定義汽車。 SODA V工具的開發(fā)耗時(shí)1.5...

關(guān)鍵字: 汽車 人工智能 智能驅(qū)動(dòng) BSP

北京2024年8月28日 /美通社/ -- 越來越多用戶希望企業(yè)業(yè)務(wù)能7×24不間斷運(yùn)行,同時(shí)企業(yè)卻面臨越來越多業(yè)務(wù)中斷的風(fēng)險(xiǎn),如企業(yè)系統(tǒng)復(fù)雜性的增加,頻繁的功能更新和發(fā)布等。如何確保業(yè)務(wù)連續(xù)性,提升韌性,成...

關(guān)鍵字: 亞馬遜 解密 控制平面 BSP

8月30日消息,據(jù)媒體報(bào)道,騰訊和網(wǎng)易近期正在縮減他們對(duì)日本游戲市場(chǎng)的投資。

關(guān)鍵字: 騰訊 編碼器 CPU

8月28日消息,今天上午,2024中國(guó)國(guó)際大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)開幕式在貴陽(yáng)舉行,華為董事、質(zhì)量流程IT總裁陶景文發(fā)表了演講。

關(guān)鍵字: 華為 12nm EDA 半導(dǎo)體

8月28日消息,在2024中國(guó)國(guó)際大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)上,華為常務(wù)董事、華為云CEO張平安發(fā)表演講稱,數(shù)字世界的話語(yǔ)權(quán)最終是由生態(tài)的繁榮決定的。

關(guān)鍵字: 華為 12nm 手機(jī) 衛(wèi)星通信

要點(diǎn): 有效應(yīng)對(duì)環(huán)境變化,經(jīng)營(yíng)業(yè)績(jī)穩(wěn)中有升 落實(shí)提質(zhì)增效舉措,毛利潤(rùn)率延續(xù)升勢(shì) 戰(zhàn)略布局成效顯著,戰(zhàn)新業(yè)務(wù)引領(lǐng)增長(zhǎng) 以科技創(chuàng)新為引領(lǐng),提升企業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力 堅(jiān)持高質(zhì)量發(fā)展策略,塑強(qiáng)核心競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)...

關(guān)鍵字: 通信 BSP 電信運(yùn)營(yíng)商 數(shù)字經(jīng)濟(jì)

北京2024年8月27日 /美通社/ -- 8月21日,由中央廣播電視總臺(tái)與中國(guó)電影電視技術(shù)學(xué)會(huì)聯(lián)合牽頭組建的NVI技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟在BIRTV2024超高清全產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展研討會(huì)上宣布正式成立。 活動(dòng)現(xiàn)場(chǎng) NVI技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)...

關(guān)鍵字: VI 傳輸協(xié)議 音頻 BSP

北京2024年8月27日 /美通社/ -- 在8月23日舉辦的2024年長(zhǎng)三角生態(tài)綠色一體化發(fā)展示范區(qū)聯(lián)合招商會(huì)上,軟通動(dòng)力信息技術(shù)(集團(tuán))股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱"軟通動(dòng)力")與長(zhǎng)三角投資(上海)有限...

關(guān)鍵字: BSP 信息技術(shù)
關(guān)閉
關(guān)閉