中國“02專項”成功實施 IC制造裝備工藝趕超

　　國家科技重大專項《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》（以下簡稱“02專項”）日前在京舉行了成果發(fā)布會。在這個長期受到國外壟斷的領(lǐng)域，中國企業(yè)第一次拿出了諸多驕人成果。“02專項”專家組負責(zé)人之一、中科院院士王曦預(yù)計，到2020年，我國的集成電路制造裝備工藝有望與國外發(fā)達國家站在同一水平線上。業(yè)內(nèi)人士表示，“02專項”的成功實施，為我國集成電路行業(yè)實現(xiàn)趕超提供了信心和技術(shù)基礎(chǔ)。

　　“最大宗進口物資”倒逼創(chuàng)新

　　長期以來，我國集成電路行業(yè)從制造工藝到裝備，再到材料，都嚴重依賴進口，每年高達1200億美元的進口額，使其成為我國最大宗進口物資。此外，還有許多裝備由于國外采取禁運措施，想進口都不行。在此背景下，“02專項”應(yīng)運而生。它的目標(biāo)十分明確：通過自主創(chuàng)新，實現(xiàn)追趕和超越。

　　“大兵團攻關(guān)”卓有成效

　　集成電路的產(chǎn)業(yè)鏈復(fù)雜，上下游的工序分工非常細，如果按傳統(tǒng)科技立項方式資助一兩個企業(yè)，就算出成果，也未必能直接用于生產(chǎn)。對此，“02專項”采取了“大兵團”作戰(zhàn)的思路，在相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈上由100多家企業(yè)、研究單位一起參與。

　　中芯國際就是典型例子。作為集成電路制造企業(yè)，它承擔(dān)了“65納米成套產(chǎn)品工藝”的研發(fā)工作，使我國的集成電路制造水平首次達到國際主流水平。目前，它每月可生產(chǎn)5000片12英寸芯片，貢獻了6億元產(chǎn)值。與此同時，中芯國際還扮演著“用戶測試方”的角色，項目組中負責(zé)裝備開發(fā)、材料升級換代的單位，必須把成果拿到中芯國際的生產(chǎn)線上“跑”一下并得到認可，才算真正成功。而國產(chǎn)先進裝備的使用，反過來又有助于其進一步提高制造工藝。目前他們正在研發(fā)精密程度更高的45納米、32納米芯片相關(guān)工藝。“公司今后將采用更多的國產(chǎn)裝備，不是因為它便宜，而是因為確實好用。”中芯國際首席執(zhí)行官王寧國說。

　　不同于以往關(guān)起門來搞創(chuàng)新、搞鑒定，此次“02專項”成功的秘訣之一，就是按照產(chǎn)業(yè)鏈順序，讓下游檢測上游，讓“整機”檢測“部件”，以此確保質(zhì)量。目前，35種裝備、材料正在陸續(xù)進入大生產(chǎn)線考核驗證階段，23種封裝設(shè)備和8種封裝材料已通過生產(chǎn)線驗證。

　　產(chǎn)業(yè)撬動價值更可觀

　　“02專項”的這些成果，使我國與國外發(fā)達國家和地區(qū)在相同領(lǐng)域的技術(shù)差距縮短至一個技術(shù)代（約1—2年），也為我國在國際競爭中贏得了更多話語權(quán)。中船重工第718研究所此次承擔(dān)一種氣體刻蝕介質(zhì)的開發(fā)，該所工作人員告訴記者，此前這種氣體的進口價高達270美元/噸，開發(fā)成功后，國際售價一下子下降了2/3以上?，F(xiàn)在該所已擁有華虹等多家國內(nèi)芯片制造用戶。

　　專家之所以看好中國集成電路產(chǎn)業(yè)，還有一個更重要的因素是，它在我國發(fā)展戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的計劃中，扮演著重要角色。無論是國家其他重大專項——核高基、新一代無線通信網(wǎng)，還是上海大力推動的先進制造業(yè)、信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)，都離不開集成電路。集成電路制造技術(shù)和裝備的國產(chǎn)化，將帶動一批戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。同時，這些產(chǎn)業(yè)的加速發(fā)展和市場的加速擴大，又為集成電路行業(yè)的不斷突破提供了動力。