日本尼康研制的FX-75S(85S)LCD用曝光機,是液晶面板生產線中,薄膜晶體管光刻技術的核心設備。每臺占地面積11×15米,生產節(jié)奏為60秒每片。京東方8.5代線共采購了16臺FX-85S曝光機,單臺價格估計接近2億元人民幣。
目前全球LCD曝光機市場被日本尼康和佳能壟斷,2009年Nikon出貨45臺,Canon出貨38臺。隨著中國LCD產業(yè)規(guī)模迅速擴大,我國企業(yè)必須竭盡全力,在設備、原材料配套領域建立起自主體系。只有具備全產業(yè)鏈競爭力的國家,才能在激烈的市場搏殺中,立于不敗之地。
從圖中可看出8.5代線傳送設備幅寬大于玻璃基板,10代線同樣如此,傳送3,000mm* 3400mm*0.5mm第11代玻璃基板也行。
尼康第10世代2880*3130mm液晶曝光裝置 FX-101S可小幅度改動為第11世代液晶曝光裝置。
目前全球LCD曝光機市場被日本尼康和佳能壟斷,2009年Nikon出貨45臺,Canon出貨38臺。隨著中國LCD產業(yè)規(guī)模迅速擴大,我國企業(yè)必須竭盡全力,在設備、原材料配套領域建立起自主體系。只有具備全產業(yè)鏈競爭力的國家,才能在激烈的市場搏殺中,立于不敗之地。
從圖中可看出8.5代線傳送設備幅寬大于玻璃基板,10代線同樣如此,傳送3,000mm* 3400mm*0.5mm第11代玻璃基板也行。
尼康第10世代2880*3130mm液晶曝光裝置 FX-101S可小幅度改動為第11世代液晶曝光裝置。