近年來，我國半導體設備企業(yè)不斷開拓創(chuàng)新，為國內(nèi)IC產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展添磚加瓦，尤其是北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司和北京中科信電子裝備有限公司成功研制出100納米半導體設備，并順利進入中芯國際生產(chǎn)線，再次印證了唯有創(chuàng)新才是半導體設備企業(yè)發(fā)展的根本。
半導體設備業(yè)需要創(chuàng)新
半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展遵循“摩爾定律”，其顯著的特點就是更新?lián)Q代快，因此對其進行支撐的設備制造業(yè)更需要加快研究進程來滿足它。
北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司微電子設備分公司總經(jīng)理盛金龍在接受《中國電子報》記者采訪時表示，半導體設備的發(fā)展本身就是技術創(chuàng)新的過程，IC以“摩爾定律”高速發(fā)展，其實其背后是以設備的創(chuàng)新和發(fā)展做支撐的，新的工藝技術總是用新一代設備實現(xiàn)的。
中電科技集團公司第45研究所副所長王志越表示，創(chuàng)新對于半導體設備企業(yè)非常重要。當前半導體設備的最大特點是不僅僅提供硬件設備本身，而是承擔了包括工藝菜單、工藝控制及工藝集成的總體解決方案。也就是說設備是來自于工藝，通過創(chuàng)新和工藝物化，又回歸于工藝。所以對于半導體設備企業(yè)來說，“創(chuàng)新是賴以生存的基礎，是企業(yè)不斷發(fā)展的保障”，沒有創(chuàng)新的半導體設備企業(yè)不可能生存。
北京京聯(lián)發(fā)數(shù)控科技有限公司董事長秦建國告訴記者，創(chuàng)新給半導體企業(yè)帶來更好的活力、更高的效益，企業(yè)有了創(chuàng)新的產(chǎn)品及創(chuàng)新的技術就會在激烈的市場競爭中得到更快更好的發(fā)展，現(xiàn)在中國電子行業(yè)與國外電子同行相比，主要是技術、設備的落后，引進新的技術、設備是國內(nèi)電子行業(yè)發(fā)展的一個重要辦法，而更重要的是要中國電子專用設備的生產(chǎn)制造商能自主研發(fā)、生產(chǎn)出更好的新產(chǎn)品，為中國電子行業(yè)的發(fā)展提供一個良好的平臺。
保持源源不斷創(chuàng)新能力
創(chuàng)新是一項系統(tǒng)工程，企業(yè)要想在市場上擁有一席之地，必須具有源源不斷的創(chuàng)新能力，并不斷將其創(chuàng)新產(chǎn)品推向市場。國內(nèi)半導體設備企業(yè)要想在被國外企業(yè)一統(tǒng)天下的設備領域有所作為，不斷創(chuàng)新是明智之舉。
王志越表示，首先，要建立起以分配機制為主的有效激勵的創(chuàng)新機制，貫徹落實國家有關科研成果、知識產(chǎn)權等要素全面參與分配精神。其次，要積極培育企業(yè)的創(chuàng)新能力，要著重從企業(yè)決策機制、資源有效整合、科學管理、研發(fā)經(jīng)費投入等等方面不斷完善和提高，逐步使企業(yè)在基礎環(huán)節(jié)上具備創(chuàng)新與騰飛的本領。第三，“不拘一格降人才”，建立一支強大的創(chuàng)新團隊。第四，不能把自主創(chuàng)新同引進技術對立起來。自主開發(fā)并不意味故步自封。沒有一個國家能包攬所有源技術的開發(fā)，必須互相借鑒。現(xiàn)在，我們國家大部分行業(yè)在自我測評時都認為同發(fā)達國家的差距在10年-20年左右。不引進技術，靠自己關起門來埋頭苦干是不行的。在大多數(shù)產(chǎn)業(yè)中，我們還必須站在別人的肩膀上前進。此外國產(chǎn)化并不意味著所有的零部件都必須要國內(nèi)制造。在當今經(jīng)濟全球化的環(huán)境下，關鍵是擁有核心技術的知識產(chǎn)權。
秦建國告訴記者，企業(yè)要保持不斷的創(chuàng)新，首先應認識到創(chuàng)新給企業(yè)帶來的發(fā)展后勁，發(fā)展要依靠開拓創(chuàng)新，創(chuàng)新產(chǎn)品要有三個方面支持：第一要有研發(fā)人員；第二要有資金支持；第三要有市場的需求。沒有人才就無法創(chuàng)新，沒有資金的支持也就談不上創(chuàng)新，市場是創(chuàng)新產(chǎn)品的目的。要使企業(yè)不斷地推出創(chuàng)新產(chǎn)品，就要結合人才、資金、市場三方面，這樣才能使企業(yè)不斷地發(fā)展壯大，一個好的創(chuàng)新方式會使企業(yè)得到很好的回報。
北京中科信電子裝備有限公司副總經(jīng)理孫勇表示，企業(yè)是創(chuàng)新的主體，企業(yè)只有在不斷的創(chuàng)新中才不會步入衰退期。這就要求具有適應社會各種變化能力的研發(fā)團隊，營造創(chuàng)新的組織與文化精神。在創(chuàng)新的氛圍下，創(chuàng)新才有動力，企業(yè)才有核心競爭力，才能立于不敗之地。此外，企業(yè)應整合各種社會資源，不關起門來搞創(chuàng)新，必須建立開放式的創(chuàng)新平臺，吸納和整合各種資源，形成一個創(chuàng)新集群，一切為我所用，提高創(chuàng)新質(zhì)量。
初嘗創(chuàng)新甜果
在不斷創(chuàng)新動力的推動下，國內(nèi)半導體設備企業(yè)取得一個又一個成果，他們或是從現(xiàn)有設備出發(fā)，努力開拓新應用領域；或是面對全新的技術及工藝，讓國產(chǎn)設備用在國內(nèi)IC大生產(chǎn)線；或是不斷改進產(chǎn)品性能，最終替代進口產(chǎn)品。
盛金龍告訴記者，他們在研制新設備的同時，不斷使用新的技術，運用新的知識，通過不斷創(chuàng)新，使設備達到新的水平。設備制造的創(chuàng)新，還需要體制創(chuàng)新、意識創(chuàng)新，設備制造的體制創(chuàng)新還在于引進人才，通過智力的引入使國產(chǎn)設備與國際設備行業(yè)融合，通過這些融合，把國產(chǎn)設備提升到新的層次。正是在這種理念的引導下，他們研制成功了PECVD設備。事實上，他們研究薄膜淀積技術和相關設備已多年，以前的PECVD設備主要應用于IC行業(yè)。他們是在以前的研究基礎上對設備進行較大的改進以適應于太陽能行業(yè)。應用于IC行業(yè)的PECVD裝片舟均采用鋁材料制作，其耐溫低、易變形的缺點使其不適用太陽能行業(yè)。我們在做了大量試驗并參考了國外設備之后，最終采用了新裝片舟用來承載硅片。并根據(jù)實際使用情況不斷改進其結構，逐步完善舟的設計，使其更加適用于大規(guī)模太陽能電池生產(chǎn)線，并不斷提升我國太陽能產(chǎn)業(yè)鏈整體技術水平。
孫勇表示，國家的重大專項主體必須由本土企業(yè)、本土的人才來完成，這是項目成功的根本保證。因此大力培養(yǎng)本土人才，建立本土人才培養(yǎng)體系是關鍵。此外，企業(yè)還要不斷跟蹤國外先進技術，建立完整的研究開發(fā)體系，充分與各種資源進行取長補短，發(fā)揮優(yōu)勢。同時適當?shù)剡M行國外人才的引進，只求所用，不求所有。
他們研制的100nm大角度離子注入機一舉打破了由國外公司對高端半導體設備的壟斷，實現(xiàn)了我國集成電路制造裝備的重大技術跨越，使我國高端集成電路核心設備技術水平跨越了5代，使未來2-3年我國集成電路制造業(yè)從180nm向130nm和90nm升級時可以使用國產(chǎn)裝備。孫勇介紹說，100nm大角度離子注入機屬于自主創(chuàng)新。該設備的技術創(chuàng)新：首次實現(xiàn)國產(chǎn)8英寸離子注入機設備的制造；首次實現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機進入大生產(chǎn)線測試和生產(chǎn)，并獲得成功；實現(xiàn)了離子注入機全自動控制功能，并與大生產(chǎn)線管理系統(tǒng)進行連接；實現(xiàn)了單圓片傳輸與注入監(jiān)控技術；長壽命離子源大大提高了設備的生產(chǎn)時間；平行束技術填補國內(nèi)空白。
同45所100nm大角度離子注入機一起被業(yè)界稱為具有戰(zhàn)略意義的半導體高端設備的還有北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司研制的100納米等離子刻蝕機。
秦建國向記者介紹說，他們在開拓創(chuàng)新上，首先要結合實際、調(diào)查新產(chǎn)品市場，制定完善公司的新產(chǎn)品規(guī)劃，落實到設計人員上。其次積極組織人員和資金。對多線切割機、大直徑內(nèi)圓切割機、磨片機、倒角機等一系列新產(chǎn)品進行社會調(diào)研及技術準備工作。每年必須研制開發(fā)1-2個新產(chǎn)品上市,這樣才能提高公司新產(chǎn)品的市場競爭能力，加快企業(yè)的研發(fā)力量，不斷創(chuàng)新企業(yè)的產(chǎn)品，公司的前景才會越來越好。他們研制的單晶硅棒切方滾磨機床價格只有進口設備的八分之一。全部替代了日本滾磨機床。為了替代進口設備，京聯(lián)發(fā)在滾圓機上改進設計，使?jié)L圓切方形成了一體機，減少了裝夾時間，提高了加工精度。節(jié)省的材料一年可以買2臺國產(chǎn)的切方滾圓機床。
-精彩觀點
中低端突破 高端跟進
-北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司微電子設備分公司總經(jīng)理 盛金龍
從一定意義上說，中國半導體設備業(yè)的快速發(fā)展，將更快地促進半導體集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，同時集成電路設備的發(fā)展，得益最多的是集成電路產(chǎn)業(yè)。
那么，國產(chǎn)半導體設備怎么做才能滿足集成電路產(chǎn)業(yè)的需求呢？我認為，應該從中低端突破，我們國家的半導體設備尤其是主要設備，既要在諸如曝光、刻蝕和離子注入等關鍵設備上實現(xiàn)突破，也要關注諸如氧化擴散設備、化學腐蝕設備、硅片清洗設備。從一定意義上說，后者更有率先實現(xiàn)突破的條件，因為多年來我們沉淀了雄厚的技術，又有廣泛的客戶基礎。其本身的技術難度也相對于曝光、刻蝕和離子注入等關鍵設備要稍微小一些，又是IC線上所用的數(shù)量巨大的設備類型。國家及企業(yè)在這幾個產(chǎn)品領域應加強力量投入，這幾種設備的大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化所需要的資源應該要比其他幾項要少得多，實現(xiàn)突破的前景更美好。
而在高端設備領域，有了中科信和北方微電子公司100納米半導體設備進入大生產(chǎn)線的“創(chuàng)舉”，加上國家在政策和資金方面的大力扶持，相信取得進一步突破為期不遠了。
此外，國內(nèi)半導體設備企業(yè)要和先進的制造企業(yè)進行合作，定期拜訪客戶，了解他們的需求，不斷改進產(chǎn)品的缺陷，以便進入大生產(chǎn)線。國產(chǎn)設備企業(yè)最缺乏的是大生產(chǎn)線的工藝經(jīng)驗，而這些經(jīng)驗是無法在大生產(chǎn)線外取得的。因此，我呼吁，國內(nèi)IC制造企業(yè)應給國內(nèi)設備企業(yè)一個機會，讓我們的設備進入大生產(chǎn)線，經(jīng)風雨，見世面。
半導體設備業(yè)需要創(chuàng)新
半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展遵循“摩爾定律”，其顯著的特點就是更新?lián)Q代快，因此對其進行支撐的設備制造業(yè)更需要加快研究進程來滿足它。
北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司微電子設備分公司總經(jīng)理盛金龍在接受《中國電子報》記者采訪時表示，半導體設備的發(fā)展本身就是技術創(chuàng)新的過程，IC以“摩爾定律”高速發(fā)展，其實其背后是以設備的創(chuàng)新和發(fā)展做支撐的，新的工藝技術總是用新一代設備實現(xiàn)的。
中電科技集團公司第45研究所副所長王志越表示，創(chuàng)新對于半導體設備企業(yè)非常重要。當前半導體設備的最大特點是不僅僅提供硬件設備本身，而是承擔了包括工藝菜單、工藝控制及工藝集成的總體解決方案。也就是說設備是來自于工藝，通過創(chuàng)新和工藝物化，又回歸于工藝。所以對于半導體設備企業(yè)來說，“創(chuàng)新是賴以生存的基礎，是企業(yè)不斷發(fā)展的保障”，沒有創(chuàng)新的半導體設備企業(yè)不可能生存。
北京京聯(lián)發(fā)數(shù)控科技有限公司董事長秦建國告訴記者，創(chuàng)新給半導體企業(yè)帶來更好的活力、更高的效益，企業(yè)有了創(chuàng)新的產(chǎn)品及創(chuàng)新的技術就會在激烈的市場競爭中得到更快更好的發(fā)展，現(xiàn)在中國電子行業(yè)與國外電子同行相比，主要是技術、設備的落后，引進新的技術、設備是國內(nèi)電子行業(yè)發(fā)展的一個重要辦法，而更重要的是要中國電子專用設備的生產(chǎn)制造商能自主研發(fā)、生產(chǎn)出更好的新產(chǎn)品，為中國電子行業(yè)的發(fā)展提供一個良好的平臺。
保持源源不斷創(chuàng)新能力
創(chuàng)新是一項系統(tǒng)工程，企業(yè)要想在市場上擁有一席之地，必須具有源源不斷的創(chuàng)新能力，并不斷將其創(chuàng)新產(chǎn)品推向市場。國內(nèi)半導體設備企業(yè)要想在被國外企業(yè)一統(tǒng)天下的設備領域有所作為，不斷創(chuàng)新是明智之舉。
王志越表示，首先，要建立起以分配機制為主的有效激勵的創(chuàng)新機制，貫徹落實國家有關科研成果、知識產(chǎn)權等要素全面參與分配精神。其次，要積極培育企業(yè)的創(chuàng)新能力，要著重從企業(yè)決策機制、資源有效整合、科學管理、研發(fā)經(jīng)費投入等等方面不斷完善和提高，逐步使企業(yè)在基礎環(huán)節(jié)上具備創(chuàng)新與騰飛的本領。第三，“不拘一格降人才”，建立一支強大的創(chuàng)新團隊。第四，不能把自主創(chuàng)新同引進技術對立起來。自主開發(fā)并不意味故步自封。沒有一個國家能包攬所有源技術的開發(fā)，必須互相借鑒。現(xiàn)在，我們國家大部分行業(yè)在自我測評時都認為同發(fā)達國家的差距在10年-20年左右。不引進技術，靠自己關起門來埋頭苦干是不行的。在大多數(shù)產(chǎn)業(yè)中，我們還必須站在別人的肩膀上前進。此外國產(chǎn)化并不意味著所有的零部件都必須要國內(nèi)制造。在當今經(jīng)濟全球化的環(huán)境下，關鍵是擁有核心技術的知識產(chǎn)權。
秦建國告訴記者，企業(yè)要保持不斷的創(chuàng)新，首先應認識到創(chuàng)新給企業(yè)帶來的發(fā)展后勁，發(fā)展要依靠開拓創(chuàng)新，創(chuàng)新產(chǎn)品要有三個方面支持：第一要有研發(fā)人員；第二要有資金支持；第三要有市場的需求。沒有人才就無法創(chuàng)新，沒有資金的支持也就談不上創(chuàng)新，市場是創(chuàng)新產(chǎn)品的目的。要使企業(yè)不斷地推出創(chuàng)新產(chǎn)品，就要結合人才、資金、市場三方面，這樣才能使企業(yè)不斷地發(fā)展壯大，一個好的創(chuàng)新方式會使企業(yè)得到很好的回報。
北京中科信電子裝備有限公司副總經(jīng)理孫勇表示，企業(yè)是創(chuàng)新的主體，企業(yè)只有在不斷的創(chuàng)新中才不會步入衰退期。這就要求具有適應社會各種變化能力的研發(fā)團隊，營造創(chuàng)新的組織與文化精神。在創(chuàng)新的氛圍下，創(chuàng)新才有動力，企業(yè)才有核心競爭力，才能立于不敗之地。此外，企業(yè)應整合各種社會資源，不關起門來搞創(chuàng)新，必須建立開放式的創(chuàng)新平臺，吸納和整合各種資源，形成一個創(chuàng)新集群，一切為我所用，提高創(chuàng)新質(zhì)量。
初嘗創(chuàng)新甜果
在不斷創(chuàng)新動力的推動下，國內(nèi)半導體設備企業(yè)取得一個又一個成果，他們或是從現(xiàn)有設備出發(fā)，努力開拓新應用領域；或是面對全新的技術及工藝，讓國產(chǎn)設備用在國內(nèi)IC大生產(chǎn)線；或是不斷改進產(chǎn)品性能，最終替代進口產(chǎn)品。
盛金龍告訴記者，他們在研制新設備的同時，不斷使用新的技術，運用新的知識，通過不斷創(chuàng)新，使設備達到新的水平。設備制造的創(chuàng)新，還需要體制創(chuàng)新、意識創(chuàng)新，設備制造的體制創(chuàng)新還在于引進人才，通過智力的引入使國產(chǎn)設備與國際設備行業(yè)融合，通過這些融合，把國產(chǎn)設備提升到新的層次。正是在這種理念的引導下，他們研制成功了PECVD設備。事實上，他們研究薄膜淀積技術和相關設備已多年，以前的PECVD設備主要應用于IC行業(yè)。他們是在以前的研究基礎上對設備進行較大的改進以適應于太陽能行業(yè)。應用于IC行業(yè)的PECVD裝片舟均采用鋁材料制作，其耐溫低、易變形的缺點使其不適用太陽能行業(yè)。我們在做了大量試驗并參考了國外設備之后，最終采用了新裝片舟用來承載硅片。并根據(jù)實際使用情況不斷改進其結構，逐步完善舟的設計，使其更加適用于大規(guī)模太陽能電池生產(chǎn)線，并不斷提升我國太陽能產(chǎn)業(yè)鏈整體技術水平。
孫勇表示，國家的重大專項主體必須由本土企業(yè)、本土的人才來完成，這是項目成功的根本保證。因此大力培養(yǎng)本土人才，建立本土人才培養(yǎng)體系是關鍵。此外，企業(yè)還要不斷跟蹤國外先進技術，建立完整的研究開發(fā)體系，充分與各種資源進行取長補短，發(fā)揮優(yōu)勢。同時適當?shù)剡M行國外人才的引進，只求所用，不求所有。
他們研制的100nm大角度離子注入機一舉打破了由國外公司對高端半導體設備的壟斷，實現(xiàn)了我國集成電路制造裝備的重大技術跨越，使我國高端集成電路核心設備技術水平跨越了5代，使未來2-3年我國集成電路制造業(yè)從180nm向130nm和90nm升級時可以使用國產(chǎn)裝備。孫勇介紹說，100nm大角度離子注入機屬于自主創(chuàng)新。該設備的技術創(chuàng)新：首次實現(xiàn)國產(chǎn)8英寸離子注入機設備的制造；首次實現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機進入大生產(chǎn)線測試和生產(chǎn)，并獲得成功；實現(xiàn)了離子注入機全自動控制功能，并與大生產(chǎn)線管理系統(tǒng)進行連接；實現(xiàn)了單圓片傳輸與注入監(jiān)控技術；長壽命離子源大大提高了設備的生產(chǎn)時間；平行束技術填補國內(nèi)空白。
同45所100nm大角度離子注入機一起被業(yè)界稱為具有戰(zhàn)略意義的半導體高端設備的還有北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司研制的100納米等離子刻蝕機。
秦建國向記者介紹說，他們在開拓創(chuàng)新上，首先要結合實際、調(diào)查新產(chǎn)品市場，制定完善公司的新產(chǎn)品規(guī)劃，落實到設計人員上。其次積極組織人員和資金。對多線切割機、大直徑內(nèi)圓切割機、磨片機、倒角機等一系列新產(chǎn)品進行社會調(diào)研及技術準備工作。每年必須研制開發(fā)1-2個新產(chǎn)品上市,這樣才能提高公司新產(chǎn)品的市場競爭能力，加快企業(yè)的研發(fā)力量，不斷創(chuàng)新企業(yè)的產(chǎn)品，公司的前景才會越來越好。他們研制的單晶硅棒切方滾磨機床價格只有進口設備的八分之一。全部替代了日本滾磨機床。為了替代進口設備，京聯(lián)發(fā)在滾圓機上改進設計，使?jié)L圓切方形成了一體機，減少了裝夾時間，提高了加工精度。節(jié)省的材料一年可以買2臺國產(chǎn)的切方滾圓機床。
-精彩觀點
中低端突破 高端跟進
-北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司微電子設備分公司總經(jīng)理 盛金龍
從一定意義上說，中國半導體設備業(yè)的快速發(fā)展，將更快地促進半導體集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，同時集成電路設備的發(fā)展，得益最多的是集成電路產(chǎn)業(yè)。
那么，國產(chǎn)半導體設備怎么做才能滿足集成電路產(chǎn)業(yè)的需求呢？我認為，應該從中低端突破，我們國家的半導體設備尤其是主要設備，既要在諸如曝光、刻蝕和離子注入等關鍵設備上實現(xiàn)突破，也要關注諸如氧化擴散設備、化學腐蝕設備、硅片清洗設備。從一定意義上說，后者更有率先實現(xiàn)突破的條件，因為多年來我們沉淀了雄厚的技術，又有廣泛的客戶基礎。其本身的技術難度也相對于曝光、刻蝕和離子注入等關鍵設備要稍微小一些，又是IC線上所用的數(shù)量巨大的設備類型。國家及企業(yè)在這幾個產(chǎn)品領域應加強力量投入，這幾種設備的大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化所需要的資源應該要比其他幾項要少得多，實現(xiàn)突破的前景更美好。
而在高端設備領域，有了中科信和北方微電子公司100納米半導體設備進入大生產(chǎn)線的“創(chuàng)舉”，加上國家在政策和資金方面的大力扶持，相信取得進一步突破為期不遠了。
此外，國內(nèi)半導體設備企業(yè)要和先進的制造企業(yè)進行合作，定期拜訪客戶，了解他們的需求，不斷改進產(chǎn)品的缺陷，以便進入大生產(chǎn)線。國產(chǎn)設備企業(yè)最缺乏的是大生產(chǎn)線的工藝經(jīng)驗，而這些經(jīng)驗是無法在大生產(chǎn)線外取得的。因此，我呼吁，國內(nèi)IC制造企業(yè)應給國內(nèi)設備企業(yè)一個機會，讓我們的設備進入大生產(chǎn)線，經(jīng)風雨，見世面。
下載文檔
