賽斯純氣體有限公司作為一家氣體凈化技術(shù)設備的世界領導者和供應商日前在2009年國際半導體設備與材料展覽會上, 正式宣布引入微污染物檢驗服務和CollectTorr取樣系統(tǒng), 用于對在中國的光刻和測量設備提供檢驗。
賽斯公司開發(fā)的CollectTorr取樣系統(tǒng)和離線分析服務能夠向尖端光刻和檢驗/測量設備的最終客戶提供一種簡單、專用和可靠的分析工具, 對光學系統(tǒng)的分子污染物的吹掃氣體進行驗證?；诠虘B(tài)捕獲器的CollectTorr取樣系統(tǒng)與賽斯純氣體公司的尖端分析設備相結(jié)合，能夠評估pptV水平的分子酸、堿、難熔和有機污染物的含量。
這項服務已經(jīng)通過一家國際著名的光刻設備制造商的正式認證。
克里斯蒂安?蘭東尼先生，賽斯純氣體公司的使用點產(chǎn)品經(jīng)理說:”我們很自豪地把這項成功開發(fā)的固態(tài)取樣技術(shù)和分析技術(shù)引入中國, 用于對光刻設備的檢驗。自從1995年起，賽斯純氣體公司就已經(jīng)通過在上海設立的銷售和客戶服務辦事處服務中國市場“。蘭東尼先生總結(jié)道: “為了保持光刻和測量設備的光學系統(tǒng)的擔保, 必須采用一種可靠的分子污染物檢驗。賽斯純氣體公司的壓縮氣體和環(huán)境空氣CollectTorr系統(tǒng)提供比通常的液態(tài)濾塵器具有巨大的優(yōu)勢, 后者用于分子酸和堿的取樣。
微污染物檢驗分析服務的應用如下:
光刻和檢驗/測量設備制造商的光學系統(tǒng)和鏡頭擔保的吹掃氣體驗證
氣體凈化前后的分子污染物評估，
潔凈室空氣和化學過濾器的驗證
氣體管道和部件放氣的檢測
對于中國客戶，微污染物檢驗分析服務將由賽斯純氣體公司在上海的辦事處提供。
賽斯純氣體公司坐落在美國加州圣路易斯奧比斯波, 是氣體中的雜質(zhì)含量必須達到非常低的極限值的科技應用領域內(nèi)的全球領導者。通過利用公司的核心能力，賽斯公司開發(fā)了應用于半導體和其它高科技市場的超高純氣體處理設備, 事實上對于全部的大宗氣體和特氣應用領域提供氣體凈化設備。憑借在氣體凈化領域20年的豐富經(jīng)驗，賽斯純氣體公司也在最新的半導體工業(yè)尖端應用領域，比如, 光刻、測量和檢驗設備光學系統(tǒng)的吹掃氣體凈化，成為一家關鍵的供應商。
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