探秘!走進(jìn)GlobalFoundries德國(guó)代工廠
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雖然仍有很大一部分股份掌握在AMD手里，但GlobalFoundries已經(jīng)走上了獨(dú)立自主的發(fā)展之路，為AMD制造處理器的同時(shí)也在積極爭(zhēng)取更多客戶。近日，GlobalFoundries邀請(qǐng)了一些媒體記者，前往其位于德國(guó)德累斯頓的半導(dǎo)體晶圓廠進(jìn)行參觀。
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12名觀眾已經(jīng)“裝扮”完畢，正等待批準(zhǔn)進(jìn)入潔凈室。
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GlobalFoundriesFab1工廠，也就是之前AMD的Fab30/36。
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琥珀色的光芒說明這里是處理器芯片制造過程中的光刻區(qū)域。順便說，這里的設(shè)備是整個(gè)生產(chǎn)線里最昂貴的。
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GlobalFoundries擁有全球首臺(tái)第二代沉浸式光刻設(shè)備，可將半導(dǎo)體工藝帶入后40nm時(shí)代，預(yù)計(jì)會(huì)一直延續(xù)到22nm。
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化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)區(qū)域的設(shè)備，眼前這臺(tái)主要是用來進(jìn)行銅互連的。
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在當(dāng)今的芯片制造過程中，工程師和生產(chǎn)線的交互幾乎全部都是通過計(jì)算機(jī)進(jìn)行的。
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一位記者發(fā)現(xiàn)，這里的工作人員都“不茍言笑”。他是對(duì)的。
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門外的草地和村莊看起來仿佛有幾光年之遙。
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全自動(dòng)晶圓盒傳送系統(tǒng)。由線性電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)，每個(gè)載具都有一個(gè)晶圓傳送盒(FOUP)，最多可容納25塊晶圓。根據(jù)制造工藝不同，價(jià)值最高可達(dá)100萬美元。
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在原材料測(cè)試部門，工程師利用離子束切割晶圓，便于在顯微鏡下檢查更深的晶圓層。
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