英特爾核心生產(chǎn)設(shè)備光刻機(jī)通關(guān)入?yún)^(qū)

日前，英特爾大連芯片廠核心生產(chǎn)設(shè)備順利通關(guān)入?yún)^(qū)。這批重要生產(chǎn)設(shè)備的運(yùn)抵標(biāo)志著英特爾大連芯片廠的安裝調(diào)試進(jìn)入了新的關(guān)鍵階段。

此次入?yún)^(qū)的設(shè)備是應(yīng)用于晶圓制造關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)的光刻設(shè)備。為確保設(shè)備及時(shí)安全入庫(kù)，大連開(kāi)發(fā)區(qū)管委會(huì)高度重視，與海關(guān)、商檢、公安等部門密切合作進(jìn)行了周密的部署和安排。在警車護(hù)送下，用專用避震溫控車輛運(yùn)輸此批設(shè)備，最大限度保證了設(shè)備在運(yùn)輸過(guò)程中不受損害。

據(jù)悉，大連芯片廠建設(shè)進(jìn)展順利，今年夏末廠區(qū)土建工程完工后，工廠全面進(jìn)入晶圓生產(chǎn)設(shè)備的安裝和調(diào)試階段；目前，英特爾員工規(guī)模已達(dá)750人，年底預(yù)計(jì)達(dá)到1000人。今年大連芯片廠的建設(shè)取得多個(gè)階段性成果：3月，首批生產(chǎn)設(shè)備運(yùn)抵大連；4月，數(shù)據(jù)中心IT機(jī)房和綜合辦公大樓相繼啟用；6月，英特爾正式宣布將大連芯片廠制程工藝從90納米升級(jí)至65納米；10月，生產(chǎn)線上最核心的設(shè)備開(kāi)始安裝調(diào)試。