日本濱松集團經(jīng)SWS授權(quán)使用MEMS光譜儀技術

摘要：  Si-Ware Systems(SWS)日前宣布，該公司已授權(quán)日本濱松集團(Hamamatsu Photonics)使用其MEMS傅立葉變換紅外光譜儀(FT-IR spectrometer)技術。

關鍵字：  Si-Ware Systems，  MEMS專利，  濱松集團

Si-Ware Systems(SWS)日前宣布，該公司已授權(quán)日本濱松集團(Hamamatsu Photonics)使用其MEMS傅立葉變換紅外光譜儀(FT-IR spectrometer)技術。

濱松集團是全世界光電元件領域的領導者。該公司上個月發(fā)布了此款傅立葉變換紅外光譜儀。由SWS開發(fā)并授權(quán)給濱松集團使用的傅立葉變換紅外光譜儀是世界上首個單芯片光譜儀。運用SWS的MEMS專利技術，光譜儀上所有的光學元件被集成在單塊芯片上。

“與濱松集團合作，成功地將SWS的創(chuàng)新技術與濱松集團卓越的制造能力及引領市場的產(chǎn)品相結(jié)合，”SWS光學MEMS部門經(jīng)理巴薩姆說，“現(xiàn)在，單芯片光譜儀為便攜式光譜測量創(chuàng)造了更多機會，使傳統(tǒng)光譜儀體積變小，價格變低。SWS的單芯片光譜儀可以實現(xiàn)在手持設備(如手機)中安裝光譜儀?！?/P>

該傅立葉變換紅外光譜儀包含1 x 1 cm2 見方的MEMS芯片，該芯片包括所有的光學元件。獨立的ASIC芯片也由SWS的ASIC部門完成。整個系統(tǒng)還包括一個光電探測器、光纖及軟件。目前，系統(tǒng)被集成在一個模塊中，該模塊通過USB 接口供電，功耗小于150mA，大小為8 x 6 x 3 cm3 ，重量小于100g。所有這些都確保它成為世界上體積最小、功耗最低的光譜儀產(chǎn)品。

“濱松集團通過與SWS 緊密合作將這個創(chuàng)新產(chǎn)品推向市場，” 濱松集團資深執(zhí)行董事及固態(tài)部門總經(jīng)理山本光榮說，“SWS 的技術不僅能開發(fā)單芯片光譜儀，還可以開發(fā)更多產(chǎn)品?！?/P>

該傅立葉變換紅外光譜儀是基于SWS的SiMOST(硅集成微光學系統(tǒng)技術)開發(fā)并發(fā)布的第一款產(chǎn)品。SiMOST是一個完整平臺，該平臺利用經(jīng)過驗證的MEMS 元件來創(chuàng)造單片集成光學系統(tǒng)。使用深反應離子刻蝕(DRIE)技術，可在SOI 圓片上設計并制造多個光學MEMS結(jié)構(gòu)，隨后對這些結(jié)構(gòu)進行圓片級封裝并切割成單芯片光學系統(tǒng)。

基于SiMOST的光學元件由半導體加工技術在單芯片上制造，不需要對準，而分立光學系統(tǒng)必須經(jīng)由精確對準，導致裝配及封裝的高成本。

基于SiMOST的單芯片光學解決方案在尺寸、成本、可靠性上優(yōu)勢明顯。半導體圓片的生產(chǎn)加工特點極大提高了產(chǎn)能、降低了成本。將所有光學元件集成在一個芯片上可使光學系統(tǒng)更加可靠，更好地避免沖擊或振動帶來的負面影響。最后，尺寸的大幅度減小創(chuàng)造了新的應用機會，這些應用是以前更大的、分立的光學系統(tǒng)不能實現(xiàn)的。