諾發(fā)系統(tǒng)獲臺(tái)積電優(yōu)秀供應(yīng)商獎(jiǎng)

【導(dǎo)讀】諾發(fā)系統(tǒng)獲臺(tái)積電優(yōu)秀供應(yīng)商獎(jiǎng)  
    諾發(fā)系統(tǒng)有限公司(Novellus Systems)近日宣布，該公司的VECTOR®系統(tǒng)在臺(tái)積電2006供應(yīng)鏈管理論壇上獲得TSMC頒發(fā)的“2006年度優(yōu)秀CVD供應(yīng)商獎(jiǎng)”。350多家TSMC供應(yīng)商參加了這次活動(dòng)，諾發(fā)公司是獲得“2006年度優(yōu)秀供應(yīng)商獎(jiǎng)”殊榮的十一家公司之一。諾發(fā)公司的VECTOR 300mm等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積（PECVD）設(shè)備被半導(dǎo)體制造商所廣泛采用，用于高性能IC電介質(zhì)薄膜的淀積。該系統(tǒng)在薄膜技術(shù)上取得了諸多技術(shù)革新，同時(shí)具有很高的生產(chǎn)力，因此被TSMC所認(rèn)可。  

    TSMC總裁兼CEO蔡力行博士說：“隨著我們?cè)诎雽?dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)先地位的加強(qiáng)，供應(yīng)商繼續(xù)為我們開發(fā)低成本和高效的設(shè)備、零部件和材料，從而使合作雙方進(jìn)一步增強(qiáng)競(jìng)爭(zhēng)力，共同邁向成功的未來?！?nbsp; 

    諾發(fā)系統(tǒng)有限公司電介質(zhì)事業(yè)部高級(jí)副總裁Tim Archer說：“諾發(fā)公司致力于為代工廠提供不斷改善的生產(chǎn)靈活性。由于VECTOR在薄膜技術(shù)上的技術(shù)革新和高效生產(chǎn)力，TSMC可以在同一工廠內(nèi)利用VECTOR進(jìn)行多個(gè)工藝時(shí)代產(chǎn)品的生產(chǎn)。我們非常榮幸能夠獲得這一殊榮。我們將繼續(xù)努力與TSMC一起合作，為該公司在65nm以及65nm以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)取得不斷成功提供有力的支持?！?nbsp; 
    
    諾發(fā)公司從2000年開始推出VECTOR系統(tǒng)，該系統(tǒng)能夠淀積雙嵌入式結(jié)構(gòu)所需的各種電介質(zhì)薄膜。VECTOR是全球裝機(jī)量最大的300mm CVD系統(tǒng)，前10大半導(dǎo)體公司中有9家公司采用了該系統(tǒng)。VECTOR設(shè)備最初是為130nm和90nm生產(chǎn)設(shè)計(jì)的，通過技術(shù)更新可以延伸到65nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)，同時(shí)將產(chǎn)能提高達(dá)30%。