為證明自己在全球晶圓代工的領(lǐng)先地位,三星電子(Samsung Electronics)與臺積電不約而同在2017國際固態(tài)電路大會(International Solid-State Circuits Conference;ISSCC)發(fā)表了各自最新的制程技術(shù),然而2家廠商透露了相當(dāng)不同的7奈米制程發(fā)展方向。
根據(jù)EE Times報(bào)導(dǎo),臺積電贏得了蘋果(Apple) iPhone SoC大部分的訂單后,積極于2017年投入了10奈米晶片的量產(chǎn)推進(jìn),并預(yù)計(jì)于2018年開始提升7奈米晶片的產(chǎn)量,以應(yīng)付iPhone 8(暫訂)的需求。另一方面,沒有了蘋果訂單的壓力,三星不需急于投入7奈米制程,而是打算借由極紫外光顯影技術(shù)(EUV)展現(xiàn)晶圓代工實(shí)力。
SRAM被視為是推動下一代節(jié)點(diǎn)技術(shù)的關(guān)鍵。臺積電在ISSCC上展示的7奈米制程256 Mb SRAM測試晶片,存儲單元(bit-cell)面積僅有0.027平方公厘,是2017年進(jìn)入風(fēng)險(xiǎn)生產(chǎn)的SRAM當(dāng)中,體積最小的。其SRAM巨集將使用7層金屬層,晶粒總面積為42平方公厘,比臺積電的16奈米版本小了0.34倍。
更重要的是,臺積電表示其以7奈米制程打造的SRAM測試晶片,其良率已經(jīng)展現(xiàn)相當(dāng)水準(zhǔn),達(dá)成臺積電的設(shè)計(jì)目標(biāo)。
三星的技術(shù)進(jìn)展則是側(cè)重在研究方面。三星發(fā)展出了一套創(chuàng)新的修復(fù)程序,并分別針對既有曝光機(jī)與EUV設(shè)備進(jìn)行測試,結(jié)果證實(shí)EUV的確擁有較佳的表現(xiàn)。
然而修復(fù)程序并不是生產(chǎn)流程的一部分,因此無法說明三星是否已準(zhǔn)備好將EUV應(yīng)用在7奈米制程。三星在大會上發(fā)表的8 Mb測試SRAM晶片,也未使用EUV。
專家認(rèn)為到了2020年,EUV便可應(yīng)用在某些關(guān)鍵層上。三星曾在2016年底時表示,他們將會把EUV運(yùn)用在7奈米制程,但并未透露使用的范圍。
三星的7奈米時程或許會落后臺積電1到3年,但三星的7奈米一旦起步,就可透過導(dǎo)入EUV的使用,至少在行銷策略上取得更大的優(yōu)勢,三星打的算盤類似2015年臺積電16奈米制程與三星14奈米制程代工iPhone AP之對壘一般,臺積電的16奈米制程打造的iPhone系統(tǒng)單晶片,其實(shí)在散熱方面更優(yōu)于三星一籌,但外行人卻從奈米制程表面的數(shù)字,以為臺積電制程技術(shù)落后于三星。