“公斤”新標(biāo)準(zhǔn)恐拉低半導(dǎo)體制程良率

 IC半導(dǎo)體業(yè)大震撼!國(guó)際通用百年的“公斤”定義明年將改變，但隸屬中國(guó)臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)部的度量衡標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室卻傳出目前仍籌不到經(jīng)費(fèi)無(wú)法跟進(jìn)，公斤量測(cè)校正標(biāo)準(zhǔn)將降為二級(jí)。如此將沖擊講求精準(zhǔn)度的“納米”晶圓制程校正，臺(tái)灣引以為傲的IC半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)良率恐將大幅拉低。

臺(tái)灣量測(cè)標(biāo)準(zhǔn)降為二級(jí)

臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)部標(biāo)檢局昨日舉辦“國(guó)際計(jì)量趨勢(shì)研討會(huì)”，邀請(qǐng)國(guó)際度量衡委員會(huì)主席Dr. Barry Inglis等美日德專家，探討計(jì)量在產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中的運(yùn)用與貢獻(xiàn)。國(guó)際度量衡委員會(huì)并與我國(guó)分享明年初將上路的四項(xiàng)國(guó)際單位制定義新改變，包括“公斤”(質(zhì)量)、“克耳文”(溫度)、安培(電流)、莫耳(物理量)。

標(biāo)檢局官員指出，這四項(xiàng)中最重要的是“公斤”定義改變。過(guò)去準(zhǔn)確衡量1公斤，靠的是質(zhì)量1公斤的“鉑銥公斤原器”，臺(tái)灣1995年引進(jìn)放在新竹工研院的國(guó)家度量衡研究室。但這個(gè)公斤原器過(guò)去100年卻飄移50微克，相當(dāng)一顆直徑0.4毫米的小沙粒，準(zhǔn)確度產(chǎn)生偏差，因此國(guó)際度量衡大會(huì)明年將公布，改以物理性的“普朗克常數(shù)”去定義。

生產(chǎn)設(shè)備校正受影響

國(guó)際單位制度改變，臺(tái)灣當(dāng)然也得跟進(jìn)，不過(guò)因?yàn)樘嵘龑?shí)驗(yàn)室相關(guān)檢測(cè)設(shè)備要花6億臺(tái)幣，經(jīng)濟(jì)部標(biāo)檢局面臨“無(wú)錢可編”的窘境，將無(wú)法在明年跟上國(guó)際腳步。不過(guò)如此卻暗藏產(chǎn)業(yè)的大沖擊，尤其制程是以“納米”(10億分之一公尺)計(jì)算的IC半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。

在半導(dǎo)體制程中，晶圓表面的清洗、蝕刻與研磨皆要仰賴特定化學(xué)溶液，標(biāo)檢局官員指出，這些化學(xué)溶液量測(cè)如果有一點(diǎn)點(diǎn)誤差，都會(huì)影響良率。未來(lái)一旦臺(tái)灣跟不上國(guó)際最新腳步，國(guó)家度量衡實(shí)驗(yàn)室的“鉑銥公斤原器”將被降為二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)機(jī)器設(shè)備校正會(huì)受影響。因國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)拉高，相對(duì)臺(tái)灣半導(dǎo)體良率會(huì)被拉低。

以先進(jìn)的臺(tái)積電與聯(lián)電晶圓制程來(lái)說(shuō)，良率均高達(dá)9成5，新標(biāo)準(zhǔn)改變將被拉低多少良率?臺(tái)灣標(biāo)檢局官員分析，這將視不同產(chǎn)線與產(chǎn)品而定，但公斤新標(biāo)準(zhǔn)會(huì)比舊的精準(zhǔn)2到4倍，將有一定程度影響。該局也只能極力爭(zhēng)取預(yù)算，目前仍無(wú)著落。