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[導(dǎo)讀]2月2日,“2018中國半導(dǎo)體材料及設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會”在京召開。本次大會由中國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院主辦、邳州市政府協(xié)辦,旨在通過梳理半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展方向、推介半導(dǎo)體材料及設(shè)備產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新理念,共同促進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)環(huán)境的構(gòu)建,推動我國集成電路產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展。

 2月2日,“2018中國半導(dǎo)體材料及設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會”在京召開。本次大會由中國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院主辦、邳州市政府協(xié)辦,旨在通過梳理半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展方向、推介半導(dǎo)體材料及設(shè)備產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新理念,共同促進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)環(huán)境的構(gòu)建,推動我國集成電路產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展。中國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院總工程師烏寶貴、邳州市委書記陳靜出席會議并發(fā)表致辭。中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會副理事長于燮康、中科院微電子所副總工程師趙超等行業(yè)專家與企業(yè)嘉賓出席并發(fā)表演講。

烏寶貴總工程師在致辭中指出,半導(dǎo)體設(shè)備和材料作為整個產(chǎn)業(yè)鏈的上游環(huán)節(jié),對整個行業(yè)的發(fā)展都起著至關(guān)重要的支撐作用。在半導(dǎo)體行業(yè)中有一種說法,叫做“一代器件、一代工藝、一代材料與設(shè)備”。特別是當(dāng)整個行業(yè)進(jìn)入納米時代以后,微納制造技術(shù)更多地依靠引入新材料和微觀加工設(shè)備的加工能力來實現(xiàn)技術(shù)突破,更加注重通過材料和設(shè)備與工藝的全產(chǎn)業(yè)鏈深度合作來實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)技術(shù)的更新?lián)Q代,也就更加突顯出了材料與設(shè)備的戰(zhàn)略性和基礎(chǔ)性作用。然而,國產(chǎn)設(shè)備與材料產(chǎn)業(yè)相對滯后于市場的發(fā)展需求,正在制約我國產(chǎn)業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展。如何解決行業(yè)內(nèi)仍然存在的問題,促進(jìn)設(shè)備與材料產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展,將是今后我們工作里的重中之重。

陳靜書記在致辭中指出,邳州積極搶抓機(jī)遇,大力實施“工業(yè)立市、產(chǎn)業(yè)強(qiáng)市”戰(zhàn)略,聚力產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新,聚焦生態(tài)富民,主攻高端的半導(dǎo)體、智慧的機(jī)器人、循環(huán)的產(chǎn)業(yè)鏈。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè),是全球戰(zhàn)略競爭新的制高點。我們堅持用高端產(chǎn)業(yè)“虹吸”高端人才、以高端人才助推高端產(chǎn)業(yè),把發(fā)展半導(dǎo)體材料和設(shè)備產(chǎn)業(yè)作為主攻方向,建成歐洲半導(dǎo)體海歸人才創(chuàng)業(yè)園,設(shè)立蘇北首家諾貝爾獎得主工作室,成立中國光刻技術(shù)研究中心、中國半導(dǎo)體科技創(chuàng)新中心、中科院微電子研究所徐州研修院等“國字號”科研平臺,培育引進(jìn)諾貝爾獎得主2人;正以博康信息、影速光電、上達(dá)電子華光激光、魯汶儀器為龍頭,全力打造光刻材料基地、生產(chǎn)測試設(shè)備基地、顯示材料生產(chǎn)基地、晶圓制造和外延基地,加快推進(jìn)中國電子智能小鎮(zhèn)建設(shè),半導(dǎo)體電子材料和設(shè)備產(chǎn)業(yè)基地成功獲批國家火炬特色產(chǎn)業(yè)基地。

中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會副理事長于燮康以“中國集成電路封測產(chǎn)業(yè)鏈與創(chuàng)新平臺建設(shè)”為題發(fā)表演講指出,半導(dǎo)體制造是所有制造業(yè)里最為復(fù)雜,最有科技含量的行業(yè)之一,其產(chǎn)業(yè)鏈非常長,流程十分復(fù)雜,要經(jīng)過電子硅、拉制單晶、切割單晶、切磨拋制取晶圓、光刻、蝕刻、離子注入、金屬沉積、金屬層、互連、清洗、晶圓測試與分割、核心封裝、分級測試等二百余個步驟;在生產(chǎn)和封測中,需要光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、減薄機(jī)、劃片機(jī)、引線鍵合機(jī)、倒裝機(jī)、塑封機(jī)、切筋打彎等封造設(shè)備的輔助。正是由于半導(dǎo)體制造與傳統(tǒng)制造不同:不可修復(fù)、流程復(fù)雜、制作周期長、機(jī)器精度高、持續(xù)投入強(qiáng)度高,營運成本高、運作系統(tǒng)非常復(fù)雜,因此要發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)非常強(qiáng)調(diào)整個團(tuán)隊的互動合作。

中科院微電子所副總工程師趙超在本次大會上介紹了中國集成電路產(chǎn)業(yè)定位與發(fā)展戰(zhàn)略。工信部賽迪智庫集成電路研究所副所長林雨從四個維度分析了我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢。中國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所集團(tuán)首席專家柳濱介紹了“國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展驅(qū)動因素及選擇”。中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會副秘書長金存忠發(fā)表了“中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備現(xiàn)狀與展望”的演講。邳州經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)工作委員會書記王廣軍介紹了邳州市半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展新思路。此外,徐州博康信息化學(xué)品有限公司董事長傅志偉、江蘇魯汶儀器有限公司經(jīng)理許開東、北京航星網(wǎng)訊技術(shù)公司總經(jīng)理張揚、泰瑞達(dá)有限公司半導(dǎo)體測試部中國區(qū)總經(jīng)理晏斌、徐州大晶新材料科技集團(tuán)有限公司總經(jīng)理康文兵、華興激光總經(jīng)理羅帥等也在會上發(fā)表重要演講。

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