利用低功耗SiC電源制備SiC晶體 日新技研展示高頻加熱電源

生產(chǎn)和銷(xiāo)售制造設(shè)備用高頻電源等產(chǎn)品的日新技研試制出了利用SiC功率元件的高頻加熱電源，并在SiC相關(guān)國(guó)際學(xué)會(huì)“ICSCRM 2013”并設(shè)的展會(huì)上進(jìn)行了展示。該公司表示，與利用Si功率元件時(shí)相比，利用SiC功率元件可提高電源效率、實(shí)現(xiàn)小型化并減少冷卻水使用量。將這種電源用于晶體生長(zhǎng)設(shè)備時(shí)，“可通過(guò)使用SiC的電源來(lái)高效制備SiC晶體”。

此次試制的是輸出功率為30kW級(jí)別的電源。開(kāi)關(guān)頻率為20kHz時(shí)，日新技研以往的利用Si功率元件的產(chǎn)品的效率最大為95％左右，而利用SiC功率元件后，效率達(dá)到了97.5％左右。

利用SiC功率元件還提高了電源的耐熱性，與日新技研的以往產(chǎn)品相比，試制品所需冷卻水的流量減至約1/4。該公司表示，將來(lái)“打算改用空冷方式”，“因?yàn)橹圃煸O(shè)備用高頻電源使用的工業(yè)用冷卻水中的雜質(zhì)等經(jīng)常會(huì)引起故障”。

通過(guò)減少冷卻水用量，還可削減水費(fèi)。“比如，晶體生長(zhǎng)設(shè)備要連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)好幾天，每個(gè)月僅水費(fèi)一項(xiàng)，有時(shí)就要花費(fèi)數(shù)千日元。對(duì)于多臺(tái)使用數(shù)年的情況，改用空冷方式有助于大幅削減成本”。

試制品使用的SiC功率元件由羅姆制造，采用的是配備SiC MOSFET和SiC二極管的全SiC功率模塊。（記者：根津 禎，《日經(jīng)電子》）

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