MEMS壓力傳感器芯片（敏芯微電子）

繼推出硅基MEMS麥克風(fēng)芯片后，蘇州敏芯微電子技術(shù)有限公司日前又推出了1.4mm×1.4mm×0.7mm外形尺寸MEMS絕對壓力傳感器芯片，主要針對量程為15PSI的高度表市場，并已開始提供樣品。

據(jù)敏芯微電子介紹，其MEMS壓力傳感器芯片典型滿量程輸出范圍為100kPa，在加載電壓5V的情況下，滿量程靈敏度為100mV，橋臂電阻典型值為5k歐姆，零位輸出在+-30mV之間，靈敏度溫度系數(shù)為-19%FS/100度。敏芯微電子稱，其在國內(nèi)率先獨家推出的MEMS絕對壓力傳感器芯片，可同時兼容開環(huán)和閉環(huán)橋臂兩種應(yīng)用，極大方便了客戶使用。

目前，敏芯微電子可以芯片或晶圓的形式向客戶供貨，初期將供應(yīng)基于4寸晶圓的芯片，外形尺寸為1.4mm×1.4mm×0.7mm之版本。今后，為滿足部分客戶對芯片超薄尺寸的要求，也將提供芯片外形尺寸為1.4mm×1.4mm×0.5mm之版本。

敏芯微電子還將陸續(xù)推出其它量程的產(chǎn)品來滿足不同客戶之需求，預(yù)計將于2010年初提供滿量程范圍為100PSI及300PSI之產(chǎn)品，此系列之產(chǎn)品將進一步縮小芯片體積，設(shè)計外形尺寸為1.1mm*1.1mm*0.7mm。同時，公司也可根據(jù)客戶需求來定制MEMS壓力傳感器芯片，來滿足某些特種需求。