摘 要:FC(倒裝片)和WLP(圓片級封裝)均要在圓片上制作各類凸點,它們與基板焊接互連后,由于各材料間的熱失配可能造成凸點——基板間互連失效,從而影響了器件的可靠性和使用壽命。解決這一問題的通常做法是對芯片凸
王水弟,蔡堅,譚智敏,胡濤,郭江華,賈松良(清華大學微電子學研究所,北京 100084)摘要:介紹了電鍍法進行圓片級封裝中金凸點制作的工藝流程,并對影響凸點成型的主要工藝因素進行了研究。凸點下金屬化層(UBM,und
11 BGA封裝激光重熔釬料凸點制作技術(shù) 11.1 激光重熔釬料合金凸點的特點 BGA/CSP封裝,F(xiàn)lip chip封裝時需要在基板或者芯片上制作釬料合金凸點,釬料合金凸點的制作方法有:釬料濺射/蒸鍍-重熔方法、放置釬料球-重熔方