計量光柵讀數(shù)頭的基本組成和分類
光源發(fā)出的光束經(jīng)過照明系統(tǒng)(聚光鏡)后成為均勻的平行光照明主光柵。由于主光柵和指示光柵之間的相對運動(測量運動)而輸出交變的莫爾條紋信號,此信號經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)(物鏡)會聚到光電接收器,并轉(zhuǎn)換成反映莫爾條紋特性的電信號供光電計數(shù)及細分用。
1一光源 2一照明系統(tǒng) 3一主光柵 4一指示光柵 5一光學(xué)系統(tǒng) 6一光電接收組件
圖1 光柵讀數(shù)頭的組成
?、诠鈻抛x數(shù)頭的分類。光柵讀數(shù)頭的型式很多,按結(jié)構(gòu)布局特點可以分為直讀式、分光式、鏡像式和調(diào)相式等四類。按光柵的工作條件可以分為透射式和反射式兩類。若按光柵的形式可以分為相位型光柵讀數(shù)頭和振幅型(黑白)光柵讀數(shù)頭等。圖2為光柵讀數(shù)頭的分類框圖。
圖2 光柵讀數(shù)頭分類