MEMS陀螺儀即硅微機(jī)電陀螺儀,絕大多數(shù)的MEMS陀螺儀依賴于相互正交的振動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)引起的交變科里奧利力。MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集機(jī)械元素、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的完整微型機(jī)電系統(tǒng)。
基于MEMS的陀螺儀,是利用科里利奧力,對MEMS內(nèi)部施加一個(gè)X方向的激勵(lì)信號,當(dāng)質(zhì)量塊相對于震蕩的系統(tǒng)產(chǎn)生Z軸方向的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí),由于Y方向的科里利奧力,質(zhì)量塊就產(chǎn)生Y方向的運(yùn)動(dòng),通過計(jì)算電容的變化,就可以計(jì)算出對應(yīng)的角加速度值。
三軸陀螺儀是一種用于測量物體繞三個(gè)軸的旋轉(zhuǎn)速度和角度的裝置。它通常由三個(gè)獨(dú)立的陀螺儀組成,每個(gè)陀螺儀安裝在不同的軸上。它是現(xiàn)代導(dǎo)航、飛行控制和慣性導(dǎo)航系統(tǒng)的核心部件之一。三軸陀螺儀是一種能夠檢測空間中物體繞x、y、z三個(gè)軸的旋轉(zhuǎn)速度和角度的裝置。它主要包括三個(gè)陀螺儀和相關(guān)的信號處理電路。
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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀是一種在微米級別的尺度上集成電機(jī)和電子設(shè)備的裝置,能夠測量或保持方向。這是通過對旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的角速度進(jìn)行檢測和測量實(shí)現(xiàn)的。
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多年來,傳感器早已融合到車輛的整體設(shè)計(jì)和制造中。一輛汽車現(xiàn)在可以有100個(gè)或更多的傳感器,用于監(jiān)測和控制某些驅(qū)動(dòng)參數(shù)。電動(dòng)汽車的公眾接受度和自動(dòng)駕駛汽車的未來發(fā)展很大程度上將依賴于這些傳感器的超可靠性。在這些傳感器中,MEMS傳感器約占三分之一。
MEMS陀螺儀是第三代陀螺儀的代表,MEMS隨著微機(jī)械電子系統(tǒng)(MEMS)等學(xué)科的興起,又基于科里奧利振動(dòng)效應(yīng)和微納加工技術(shù),MEMS陀螺儀開始出現(xiàn)。ER-MG2-50/100作為MEMS陀螺儀中的高精度陀螺儀,具有體積小、重量輕、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)、價(jià)格低廉、便于批量生產(chǎn)等特點(diǎn),解決了第一代和第二代陀螺儀體積質(zhì)量大、成本高的缺點(diǎn),精度和穩(wěn)定性不斷提高。
MEMS壓力傳感器是基于MEMS技術(shù)和半導(dǎo)體集成電路制造加工技術(shù),以利用單晶硅硅片等傳統(tǒng)半導(dǎo)體材料制作而成的芯片作為主要組成部分,將壓強(qiáng)信號轉(zhuǎn)化為電學(xué)信號的壓力測量器件。MEMS壓力傳感器可以用類似集成電路(IC)設(shè)計(jì)技術(shù)和制造工藝,進(jìn)行高精度、低成本的大批量生產(chǎn),從而為消費(fèi)電子和工業(yè)過程控制產(chǎn)品用低廉的成本大量使用MEMS傳感器打開方便之門,使壓力控制變得簡單易用和智能化。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀是一種在微米級別的尺度上集成電機(jī)和電子設(shè)備的裝置,能夠測量或保持方向。這是通過對旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的角速度進(jìn)行檢測和測量實(shí)現(xiàn)的。MEMS陀螺儀的工作原理基于科里奧利(Coriolis)效應(yīng)。這是一個(gè)物理現(xiàn)象,在旋轉(zhuǎn)參考系中,運(yùn)動(dòng)物體受到一種橫向的力,稱為科里奧利力。
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