MEMS會(huì)議召開，揭秘MEMS新技術(shù)和新應(yīng)用

Bourne Research調(diào)研機(jī)構(gòu)分析人士Marlene Bourne表示，“到2009年，MEMS市場有可能將首次面臨負(fù)增長”，“消費(fèi)增長緩慢的情況將至少持續(xù)18個(gè)月。在接下來的18~24個(gè)月時(shí)間里各個(gè)公司的核心MEMS應(yīng)用方案將趨于具體化，而那些取得成功的公司將會(huì)對MEMS芯片產(chǎn)生極大需求并提供解決方案。

參與此次大會(huì)的某分析人士小組認(rèn)為，2009年推出的手持媒體播放器和手機(jī)都將采用MEMS器件；到2012年，幾乎所有的消費(fèi)產(chǎn)品都將至少用到一個(gè)MEMS芯片；此外，從2010年起，MEMS器件還將被用于多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域，如大幅降低功耗和提高平面顯示屏的亮度以及色彩真實(shí)度。

其中最具新意的是Pixtronix公司的MEMS應(yīng)用方案。通過采用MEMS閃耀光柵發(fā)光二極管（LED）的背光，Pixtronix的顯示屏同時(shí)擁有超低功率（比LCD低75%)和極寬色域（是NTSC的105%）。

采用傳統(tǒng)的LCD顯示屏生產(chǎn)線即可將MEMS光柵集成至平面顯示屏的內(nèi)部，通過將MEMS擋光層粘在LED背光基板上，可省去偏光鏡和彩色濾光片。該公司表示，其數(shù)字MEMS光柵比普通的LCD屏要亮10倍，因?yàn)橛?0~80%的光線通過了擋光層，而傳統(tǒng)平板LCD屏的背光利用率僅為6~8%。

Pixtronix微制造（microfabrication）部副總Richard Payne表示，“我們的數(shù)碼微快門可直接采用現(xiàn)今生產(chǎn)LCD屏的生產(chǎn)線來生產(chǎn)，但是生產(chǎn)成本可降低10%?！?

其它參加MEMS管理人會(huì)議的成員公司也介紹了一系列已采用或即將采用MEMS芯片實(shí)現(xiàn)從無按鍵控制器到航行推測導(dǎo)航儀等特色功能的消費(fèi)電子產(chǎn)品。

“很多消費(fèi)電子產(chǎn)品集成了MEMS芯片，而加速度傳感器只是MEMS芯片中的一種，”ST微電子部門副總兼總經(jīng)理Benedetto Vigna表示，“據(jù)我預(yù)測，到2012年所有的手機(jī)都將會(huì)集成有加速傳感器”。

為了滿足不同消費(fèi)電子產(chǎn)品的要求，ST計(jì)劃在下周公布其6位、8位、12位低價(jià)位、高分辨率的MEMS加速傳感器。

每個(gè)型號(hào)的加速傳感器都可工作在低功耗模式，這樣當(dāng)手機(jī)或其它電子消費(fèi)產(chǎn)品處在休眠狀態(tài)時(shí)加速傳感器仍可隨時(shí)待命。在待機(jī)模式下，加速傳感器的功耗小于1微安---不到正常工作模式下的1/300；但在新的“中間（in-between）”低功耗模式下，在輸出端持續(xù)提供加速數(shù)據(jù)的條件下（盡管數(shù)據(jù)傳速率有點(diǎn)慢），其功耗不到10微安---不到正常工作模式下的1/30。

ST的加速度傳感器已被用于任天堂的Wii和Apple的iPhone，但其尺寸僅為3平方毫米的新款加速度傳感器主要針對不安全型（non-safety）的汽車應(yīng)用，如汽車報(bào)警以及工業(yè)和醫(yī)護(hù)設(shè)備。ST還表示將通過新增回轉(zhuǎn)儀、麥克風(fēng)和電磁、壓力傳感器來進(jìn)一步擴(kuò)展其MEMS芯片產(chǎn)品。

Freescale在MEMS管理人員大會(huì)上展示了面向手機(jī)、手持控制器和移動(dòng)媒體播放器的新系列三軸數(shù)字式加速度傳感器和新系列開發(fā)工具包。該系列三軸加速度傳感器可感應(yīng)2G、4G和8G的加速度，是用于使消費(fèi)類電子產(chǎn)品具備滾動(dòng)、游戲控制和手勢識(shí)別如“按鍵靜音”等功能的最佳搭檔。

因三軸加速度傳感器可用其自帶的集成式模擬-數(shù)字轉(zhuǎn)換器感應(yīng)三個(gè)方位的變化，所以它們可以實(shí)現(xiàn)二軸加速度傳感器所不具備的功能，如導(dǎo)航裝置的航行推測、通過移動(dòng)位置檢測和脈沖檢測實(shí)現(xiàn)多類控制、防盜以及識(shí)別OEM定義的手勢。

該系列三軸加速度傳感器采用3x5x1毫米基板柵格陣列(LGA)封裝，其引腳與Freescale現(xiàn)有的MEMS芯片兼容，因此可在不改變電路板布局的情況下對已量產(chǎn)的產(chǎn)品進(jìn)行升級。新演示板采用基于ZigBee的通信接口，將其與PC機(jī)的USB接口相連即可對16塊加速度傳感器板進(jìn)行研發(fā)設(shè)計(jì)。