超聲波電機(jī)(USM)具有能夠直接輸出低轉(zhuǎn)速大力矩,瞬態(tài)響應(yīng)快(可達(dá)ms量級(jí))、定位精度高(可達(dá)nm量級(jí)),無(wú)電磁干擾等諸多優(yōu)點(diǎn)。USM的運(yùn)行需要有兩路具有一定幅值,相位上正交(或
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