限制 DUV,ASML 出口新規(guī)或?qū)⒂诮諏?shí)施!
業(yè)內(nèi)消息,荷蘭政府的半導(dǎo)體新規(guī)預(yù)計(jì)最快會(huì)在下周開始實(shí)施,屆時(shí) ASML 的 DUV 光刻機(jī)將被限制出口。
2023 年 3 月,荷蘭政府聲稱對(duì)半導(dǎo)體技術(shù)出口實(shí)施新的限制以保護(hù)國(guó)家安全,加入美國(guó)遏制先進(jìn)芯片對(duì)華出口的行列,荷蘭貿(mào)易部長(zhǎng) Liesje·Schreinemacher 表示該措施將于 7 月前實(shí)施。
21ic 當(dāng)時(shí)對(duì)此進(jìn)行了報(bào)道,該措施實(shí)施后會(huì)在已經(jīng)限制深紫外光(EUV)光刻機(jī)的基礎(chǔ)上,再限制了深紫外光(DUV)光刻機(jī)對(duì)華出口。
具體來說,出口管制名單新增了 TWINSCAN NXT:2000i、NXT:2050i 及 NXT:2100i 等浸入式 DUV,這些設(shè)備最高可支持 5nm 工藝,臺(tái)積電就使用 SAQP 和氬氟浸沒 (ArFi) 光刻實(shí)現(xiàn)了 7 nm 量產(chǎn)。
ASML 之前回應(yīng)聲稱,管制措施實(shí)施的話只有申請(qǐng)到政府許可證之后,才能對(duì)特定國(guó)家或地區(qū)出口其光刻設(shè)備,但預(yù)計(jì)不會(huì)影響其今年的營(yíng)收。
知情人士透露,該出口管制措施為其他歐盟成員國(guó)后續(xù)跟進(jìn)打了一個(gè)樣,荷蘭將會(huì)在 6 月 30 日或 7 月的第一周公布并實(shí)施,屆時(shí)官方可能并不會(huì)提及中國(guó)或者 ASML。
美國(guó)從去年開始,在半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)嵤┝艘幌盗袑?duì)華出口管制措施,然而并未達(dá)到其預(yù)期效果。隨后美國(guó)開始游說拉攏荷蘭日本等幾個(gè)重度參與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的國(guó)家來加強(qiáng)其措施。
上個(gè)月,日本正式出臺(tái)半導(dǎo)體出口管制措施,包含半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的光刻、刻蝕、熱處理、清洗、檢測(cè)等 6 大類 23 種半導(dǎo)體制造設(shè)備/材料。
同樣,清單中受管制物品在向中國(guó)大陸和俄羅斯等地區(qū)出口時(shí),需要獲得日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省的許可證。
至此,日本和荷蘭在同意加入美國(guó)的限制隊(duì)列后,分別做出了實(shí)質(zhì)性行動(dòng)。
本周,ASML 執(zhí)行副總裁兼首席商務(wù)官福凱 Christophe·Fouquet 在接受采訪時(shí)表示,全球半導(dǎo)體供應(yīng)鏈當(dāng)中,任何單一國(guó)家想要與別人分開是極其困難和需要巨大成本的。
Fouquet 認(rèn)為 ASML 成功的秘訣就是與全球關(guān)鍵供應(yīng)商維持長(zhǎng)期合作,全部自己做的想法是極具挑戰(zhàn)的,日本光刻機(jī)制造商佳能和尼康就是前車之鑒。
3 月荷蘭宣布該信息的時(shí)候,外交部發(fā)言人毛寧表示:近年來美國(guó)為剝奪中國(guó)發(fā)展權(quán)利、維護(hù)自身霸權(quán),泛化國(guó)家安全概念,將經(jīng)貿(mào)科技問題政治化、工具化,脅迫誘拉一些國(guó)家對(duì)華采取出口限制措施。
毛寧認(rèn)為,霸凌霸道行徑嚴(yán)重破壞市場(chǎng)規(guī)則和國(guó)際經(jīng)貿(mào)秩序,不僅損害中國(guó)企業(yè)合法權(quán)益,也嚴(yán)重沖擊全球產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈穩(wěn)定和世界經(jīng)濟(jì)發(fā)展,中方對(duì)此堅(jiān)決反對(duì)。
最后,毛寧表示希望荷方秉持客觀公正立場(chǎng)和市場(chǎng)原則,尊重契約精神,不濫用出口管制措施,維護(hù)國(guó)際產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈穩(wěn)定和自由開放的國(guó)際貿(mào)易秩序,維護(hù)中荷兩國(guó)和雙方企業(yè)共同利益。