支持28nm以下工藝,國(guó)產(chǎn)450mm半導(dǎo)體級(jí)單晶硅棒研制成功
在近日舉行的Semicon China 2020上,新美光(蘇州)半導(dǎo)體科技有限公司發(fā)布了450mm(18英寸) 11個(gè)9純度的半導(dǎo)體級(jí)單晶硅棒,也就是純度高達(dá)99.999999999%。據(jù)新美光CEO夏秋良介紹,450mm半導(dǎo)體單晶硅棒采用國(guó)際最先進(jìn)MCZ技術(shù),代表國(guó)際先進(jìn)水平,改變國(guó)內(nèi)無(wú)自主450mm半導(dǎo)體級(jí)單晶硅棒的局面,將在28nm以下晶圓廠實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代,在半導(dǎo)體晶圓廠自主化方面,發(fā)揮重要作用。
作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的專業(yè)半導(dǎo)體硅片供應(yīng)商,蘇州新美光(SICREAT)納米科技有限公司成立于2013年2月,坐落于美麗的蘇州工業(yè)園區(qū)。依托中科院蘇州納米所和中科院產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新與育成中心,成功開(kāi)發(fā)了一系列半導(dǎo)體硅晶圓(硅片)加工工藝和技術(shù)。
據(jù)官網(wǎng)信息,新美光致力于為客戶提供全面的解決方案,從調(diào)試級(jí)硅片(Dummy Wafer),測(cè)試級(jí)硅片(Test Wafer),到產(chǎn)品級(jí)硅片(Prime Wafer),以及特殊硅片氧化硅片、氮化硅片、鍍鋁硅片、鍍銅硅片、Spacer Wafer、SOI Wafer、超平硅片、MEMS Glass、定制硅片等,尺寸覆蓋100mm-300mm,并可提供300mm半導(dǎo)體硅片單面/雙面拋光、減薄、激光切割等加工服務(wù)。公司擁有國(guó)內(nèi)一流之300mm半導(dǎo)體硅片之工藝整合制程,提供一攬子的硅片全面解決方案,包括具有業(yè)界最前瞻的450mm(18英寸)硅片。