MEMS概述

微機(jī)電系統(tǒng) 是微電路和微機(jī)械按功能要求在芯片上的集成,尺寸通常在毫米或微米級。MEMS技術(shù)采用了半導(dǎo)體技術(shù)中的光刻、腐蝕、薄膜等一系列的現(xiàn)有技術(shù)和材料,因此從制造技術(shù)本身來講,MEMS中基本的制造技術(shù)是成熟的。但MEMS更側(cè)重于超精密機(jī)械加工,并要涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。微機(jī)電系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)是:體積小、重量輕、功耗低、耐用性好、價格低廉、性能穩(wěn)定等。

MEMS是什么意思

MEMS技術(shù)

MEMS傳感器

MEMS陀螺儀

MEMS麥克風(fēng)

MEMS熱點(diǎn)資源