高固有頻率納米膜壓阻加速度傳感器研究將開展
近日,“高固有頻率納米膜壓阻加速度傳感器研究”項(xiàng)目獲得立項(xiàng)批復(fù),項(xiàng)目總經(jīng)費(fèi)78萬元。
該項(xiàng)目由沈陽(yáng)儀表研究院與沈陽(yáng)工業(yè)大學(xué)聯(lián)合申報(bào),執(zhí)行年限為2014年1月至2017年12月。該項(xiàng)目將設(shè)計(jì)一種MEMS加速度傳感器,帶有主梁和超薄敏感微梁,主要基于納米功能材料來實(shí)現(xiàn)。
該MEMS加速度傳感器的靈敏度和溫度特性大大得到提升,主要得益于納米膜壓阻微梁之超常的機(jī)械特性,以及良好的壓阻特性。目前加速傳感器中普遍存在著諧振頻率與靈敏度相互制約的難題,而如何解決這一難題成為業(yè)內(nèi)的一大挑戰(zhàn)。該項(xiàng)目將通過對(duì)該敏感結(jié)構(gòu)之主梁和微梁的合理設(shè)計(jì),解決該難題,并實(shí)現(xiàn)均衡提高固有諧振頻率和靈敏度。
研究人員將突破微梁加工和芯片鈍化、封裝等關(guān)鍵技術(shù),研制出新型加速度傳感器樣品,并對(duì)其可行性和優(yōu)勢(shì)進(jìn)行驗(yàn)證。該項(xiàng)目對(duì)于推進(jìn)我國(guó)在隧道壓阻效應(yīng)、納米復(fù)合膜微梁力學(xué)特性以及新型加速度傳感器技術(shù)等方面的研究具有重要意義,并為更深入和廣闊的應(yīng)用提供了可能。